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CH8探針臺

產(chǎn)品優(yōu)勢：8 英寸大行程高精度移動(dòng)、針座平臺可快速升降、 4000 倍的光學(xué)放大倍率、系統漏電精度高、可升***做射頻測試、高溫測試。

CH8探針臺

技術(shù)參數

型號

技術(shù)參數

CH-8

臺體

樣品臺尺寸

8 英寸

水平旋轉

可 360 度旋轉，可微調 15 度，精度 0.1 度，帶角度鎖死

裝置

X-Y 移動(dòng)行程

8 英寸*8 英寸

X-Y 移動(dòng)精度

10 微米/1 微米

樣品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺

*多可放置 8 個(gè)探針座

平臺升降

可快速升降 6mm/可微調升降 25mm

背電極測試

樣品臺電學(xué)獨立懸空，4mm 插孔可接背電極

顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動(dòng)行程

X-Y 軸行程 2 英寸*2 英寸，Z 軸行程 50.8mm

光源

外置 LED 環(huán)形光源/同軸光源

CCD

200 萬(wàn)像素/500 萬(wàn)像素/1200 萬(wàn)像素

探針座

X-Y-Z 移動(dòng)行程

12mm*12mm*12mm

移動(dòng)精度

10 微米/2 微米/0.7 微米/0.5 微米

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

探針夾具

線(xiàn)纜

同軸線(xiàn)/三軸線(xiàn)

漏電精度

10pA/100fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類(lèi)型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線(xiàn)端子

探針

針尖直徑

0.2 微米/1 微米/2 微米/5 微米/10 微米/20 微米

材質(zhì)

鎢鋼/鈹銅

外形

840mm 長(cháng)*600mm 寬*700mm 高

重量

約 100 千克

可選附件

加熱臺、防震桌、屏蔽箱、探針卡夾具、射頻測試組件

 CH8探針臺介紹

CH-8 探針臺是***款滿(mǎn)足于 8 英寸樣品及 8 英寸以下尺寸樣品測試的探針臺，具有優(yōu)異的機械系統，203mm（8 英寸）大行程，高精度的特點(diǎn)，可滿(mǎn)足晶圓測試、LED 測試、功率器件測試、光電測試、場(chǎng)晶體效應管測試等不同產(chǎn)品測試，以及可升***做射頻測試，廣泛的應用保證了客戶(hù)的***次性投資以及設備的使用率。