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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

極低溫測試:

因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時(shí)，空氣中的水汽會(huì )凝結在晶圓上，會(huì )導致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過(guò)程泵的運轉。

高溫無(wú)氧化測試：

當晶圓加熱至300℃,400℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現象會(huì )越來(lái)越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過(guò)度氧化會(huì )導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過(guò)程泵的運轉。 

晶圓測試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會(huì )有相對位移，這時(shí)需要針座的重新定位，CINDBEST針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調整探針的位置。

CGO探針臺能夠勝任的測試有：

CINDBEST CGO系列極高/低溫真空環(huán)境探針臺，開(kāi)/閉循環(huán)制冷，標配控溫范圍：4.2K-480K，另可以根據客戶(hù)需求訂制。




應用領(lǐng)域

l 探針臺應放在穩定可靠的臺面上，是具有防震裝置的工作臺上，避免在高溫，潮濕激烈震動(dòng)，陽(yáng)光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。

l 使用*佳溫度范圍為5℃～40℃，*佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時(shí)門(mén)窗盡可能關(guān)閉，使室內達到除濕效果。

l 使用電源：220±10%，50~60Hz

 參數規格

配件

1、體式顯微鏡  （可選配高倍率晶相顯微鏡）

產(chǎn)品參數和特點(diǎn)


1．  鑒別力高，視場(chǎng)范圍大，景深長(cháng)。
2．  工作距離長(cháng)至115mm。
3．  左右目鏡屈光度可調正負5度，能滿(mǎn)足不同視力的操作者觀(guān)察。
4．  能隨意調節手輪的力矩，滿(mǎn)足不同操作者的使用習慣，更可以鎖定手輪，方便定倍觀(guān)察。
5．  本顯微鏡為連續變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍0.8X-5X。
6．  雙目觀(guān)察傾斜45度，雙瞳距調節范圍52-75mm.

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：

產(chǎn)品造型比較新穎
機械特性?xún)?yōu)越，操作舒適度高。
光學(xué)系統鑒別力達300線(xiàn)對以上，符合標準
超長(cháng)的工作距離位于***內同行之***
獨有的3A設計
創(chuàng )見(jiàn)性人機學(xué)設計，產(chǎn)品細節考慮全面。
3A特性：
密封性－－－－－－-防塵,防油防水污染
此種接口密封性設計能安全防塵防油防水或其它污染－－－－-這就減少了常規的維護,從而降低了總的費用.
防霉性－－－－－－使其同樣適用于悶熱或潮濕的環(huán)境
此獨有的設計保證了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無(wú)恙
防靜電－－－－－－防靜電設計可以釋放顯微鏡內不斷產(chǎn)生的靜電,防止標本被損壞,保證提高產(chǎn)量和降低產(chǎn)品成本
應用領(lǐng)域：
教學(xué)示范，生物工程,IT產(chǎn)業(yè)檢測，材料分析等領(lǐng)域。

2、JVC模擬CCD

Figure 9: LN2-PP1 Dewar Lid ａnd Pressure Relief Valve Detail  

                                       

特點(diǎn)

l 1/3寸CCD,44萬(wàn)像素

l 535電視線(xiàn)的水平分辨率

l 0.7Lux的照度（F1.2，25%，AGC開(kāi)啟）

l 50dB的高信噪比（AGC OFF）

l 內置10bit 數字圖像處理器

Winfast XP100視頻采集卡  

特性

l 可選擇的影像來(lái)源信號

可以提供不同的輸入端子，使其能夠連接不同的影像

輸出設備，如錄放影機、***庭攝影機、雷射光碟機、

影音光碟機及CCD攝影機，提供全方位的解決方案。                        

● 可編輯剪接影像片段

可以從輸入的影像來(lái)源做即時(shí)的動(dòng)態(tài)捕捉或靜態(tài)補捉，并存成電腦可以接受并編輯的AVI電影檔或***般的圖形檔，再透過(guò)類(lèi)似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相關(guān)應用軟體，便可加入各種***與剪接編輯。

3、探針夾具

●  管狀式

測量微弱電流用，同時(shí)可接高壓，采用進(jìn)口triax線(xiàn)纜，前端管裝屏蔽結構，漏電小于100FA，高壓可耐1000V（需要配合屏蔽箱）

●  彈簧式 

使用便利，可用于較短時(shí)間的大電流（超過(guò)1安培）穩定性好，采用進(jìn)口同軸線(xiàn)纜，精度漏電為10PA，輸出BNC（male）接頭

 

4、美***GGB探針

5、防震桌

特點(diǎn)：隔振支撐采用超薄復合材料氣囊、自定心準無(wú)摩擦球頭擺桿和帶附加擴散口的多小孔準層流阻尼技術(shù)，隔振性能良好。自動(dòng)水平，自動(dòng)充氣，全部氣動(dòng)執行元件采用德***FEST0產(chǎn)品，靜音空氣壓縮機氣源、噪聲低。

應用范圍：適用于對振動(dòng)要求高的場(chǎng)所。 如光電測量、全息成像、光柵制作等。輕松 調節,結構穩定可靠。

技術(shù)參數：

臺面為三層夾心蜂窩狀支撐結構，采用ICR17優(yōu)質(zhì)高導磁不銹鋼

平臺表面粗糙度0.5?0.6 um

平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2 

固有頻率1.5 ~2 Hz

振幅小于1 um

重復定位精度±0.10 mm

工作壓力0.2~0.6(Mpa)

具體尺寸可根據客戶(hù)需求定制

 6、探針臂：cindbestCB-80系列

特點(diǎn)

l 真空波紋管結構

l X-Y-Z 方向的移動(dòng)行程分別為50mm

l 線(xiàn)性移動(dòng)

l 精度5微米

l Triaxial (Female)高真空電信接口法蘭

可升***到更高的移動(dòng)精度

7、空氣壓縮機

規格：

l 電壓：AC220V

l 功率：550W

l 流量：40L/min

l 轉速：1380r/min

l 儲氣罐：8L

l 凈重：14.5kg

功能

l 為防震平臺提供壓縮空氣

特點(diǎn)

● 無(wú)油靜音，特別適合實(shí)驗室和潔凈室使用。

● 7升/分鐘，可24小時(shí)無(wú)間斷運轉。

8、高低溫控制系統

l 兩路PID溫度控制

l 50W樣品臺直流加熱

l 50W防輻射屏直流加熱

l 溫控范圍：77K-500K(液氮)，4K-500K(液氦)

l PID溫度控制器分辨率:0.1℃

l 傳感器溫度誤差：任何***區段 0.5%

l 包含三只硅二極管溫度傳感器：樣品臺，輻射屏，探針臂

9、愛(ài)德華分子泵組

l 抽氣速率(N2)：42l/s (采用NW40波紋管)

l 極限壓力 5*10^-8 mbar

l 壓縮比(N2):>1*10^11

10、40L液氮杜瓦罐

l 自增壓

l 全不銹鋼制造，容器強度高

l 可以調節壓力和針閥精密流量控制

l 使用安全可靠、排液方便快速、靜態(tài)液氮日蒸發(fā)率低

l 獨特的罐體支架，罐體穩定性好

l 高強度大腳輪，移動(dòng)更方便

l 雙安全閥結構，確保產(chǎn)品使用安全

探針臺的使用方法

1、 打開(kāi)真空腔蓋，將樣品固定到樣品臺中心位置，然后蓋上真空腔蓋。

2、 檢查真空腔體上所有真空閥門(mén)并確保都是處于關(guān)閉良好狀態(tài)，啟動(dòng)真空泵。

3、 待真空度達到要求后，打開(kāi)溫度控制器，觀(guān)察溫度顯示是否正常，如果正常進(jìn)行下***步。

4、 打開(kāi)液氮罐輸液閥門(mén)，控制流量，讓液氮緩慢流入樣品臺制冷腔，待溫度降至基準溫度后，調節溫度控制器，設置目標溫度，待穩定后進(jìn)行下***步。

5、 將顯微鏡移到觀(guān)察窗上方，調到倍率，調節焦距找到待測樣品；逐步增大放大倍率，知道能清楚的觀(guān)察待測樣品的待測電極。

6、 待測點(diǎn)位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀(guān)先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，*后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀(guān)察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。

7、 確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測試設備開(kāi)始測試


注意事項

 當您使用本儀器時(shí)，可能會(huì )碰到***些問(wèn)題，下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。

維護和保養

.1 避免碰撞

l 在安裝，操作探針臺時(shí)應避免碰撞，機體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機器發(fā)生故障或異常異音。

6.2 儀器的運輸

l 儀器運輸時(shí)，請先拔掉電源線(xiàn)插頭。

l 儀器運輸應使用專(zhuān)門(mén)的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運動(dòng)部件。

6.3 儀器的存放

l 使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機械精密部件，光學(xué)部件，電學(xué)接觸面污染，導致儀器精度降低。

l 探針臺機體清潔時(shí)，避免直接潑水清理，以無(wú)塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器，以免發(fā)生故障或危險。

l 探針臺光學(xué)部件清潔時(shí)，可用鏡頭紙蘸無(wú)水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無(wú)水酒精時(shí)易燃物，注意使用安全。

l 停電或長(cháng)期不用、外出旅行時(shí)，請將電源線(xiàn)插頭拔掉以維護機器壽命.

l 操作人員必須嚴格按要求操作，以保證數據的準確和儀器的正常使用。