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CS探針臺能夠勝任的測試有：

使用說(shuō)明 (例如使用場(chǎng)所、工作原理、產(chǎn)品結構、安全操作說(shuō)明等)

探針臺的使用                                                          

1. 將樣品載入真空卡盤(pán)，開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。

2. 使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。

3. 使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺將樣品待測試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。

4. 顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點(diǎn)，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。

5. 待測點(diǎn)位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀(guān)先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，*后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀(guān)察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。

6. 確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測試設備開(kāi)始測試。

7.    

   

   
   

   常見(jiàn)故障的排除                                                       

   當您使用本儀器時(shí)，可能會(huì )碰到***些問(wèn)題，下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。

    

   癥狀	可能原因	解決方法
   移動(dòng)樣品后畫(huà)面變模糊	顯微鏡不垂直	調垂直顯微鏡
   	樣品臺不水平	調水平樣品臺
   	樣品不平
   顯微鏡視場(chǎng)亮度不足，邊緣切割或看不到像	轉換器不在定位位置上	把轉換器轉到定位位置上
   	管鏡轉盤(pán)不在定位位置上	把管鏡轉盤(pán)轉到定位位置上
   	照明的亮度不足	調節光源亮度或者把孔徑光欄孔調大
   	沒(méi)有裝目鏡	裝上目鏡
   	沒(méi)有裝物鏡	裝上物鏡
   顯微鏡像質(zhì)變差	目鏡臟 物鏡臟 管鏡臟	對目鏡，物鏡，管鏡臟的地方進(jìn)行清潔
   	孔徑光欄關(guān)的太大或者太小	調節孔徑光欄
   	沒(méi)有調好焦	調節調焦手輪
   	樣本上蓋有蓋玻片等介質(zhì)	移開(kāi)蓋玻片等介質(zhì)
   圖像***邊清晰，***邊模糊	樣本傾斜放置	放平樣本，或者調節樣品臺水平
   	物鏡沒(méi)有旋緊	旋緊物鏡
   眼睛容易疲勞	雙目頭的瞳距和操作者不匹配	調節雙目頭的瞳距
   	目鏡視度調節不正確	調節目鏡視度
   	照明亮度不合適	調節光源亮度或者孔徑光欄孔

    

   
   

技術(shù)參數