產(chǎn)品簡(jiǎn)介
IGBT高壓大電流探針臺規格如下：
卡盤(pán)
? 6" 卡盤(pán)，采用中心吸附孔和3圈吸附環(huán)固定樣品，分別由3個(gè)開(kāi)關(guān)獨立控制
? 卡盤(pán)X-Y的移動(dòng)范圍 6＇＇X6＇＇，移動(dòng)精度：10微米
? 卡盤(pán)可以 360 度旋轉，細調精度不大于 0.1 度，帶有鎖定旋鈕
? Chuck 漏電低于 100fA ， 平坦度誤差小于 5um 。
? Chuck 鍍金，用于做背電極,可以進(jìn)行雙面測試
? 卡盤(pán)臺可以上下快速升降4mm，便于樣品快速分離探針
配件
進(jìn)口高壓大電流探針座
? 精度2微米
? 調節架可進(jìn)行30度以?xún)鹊慕嵌日{節
? 高壓大電流測試適用
SHV高壓夾具
? 2.1m線(xiàn)纜（銅管TubulerType）接頭和客戶(hù)設備配
? 50Ω阻抗，測試頻率直流-100Mhz
SHV高壓大電流探針
? 電流范圍0-10A
? 電壓范圍0-2kV
? 漏電精度100fA
配備屏蔽箱
? 有效屏蔽信號干擾和漏電，提升測試精度
? 防止意外觸電
探針臺的使用方法
1、 將樣品載入真空卡盤(pán)，開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。
2、 使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、 使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺將樣品待測試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。
4、 顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點(diǎn)，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。
5、 待測點(diǎn)位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀(guān)先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，*后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀(guān)察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。
6、 確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測試設備開(kāi)始測試。
常見(jiàn)問(wèn)題
當您使用本儀器時(shí)，可能會(huì )碰到***些問(wèn)題，下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。
癥狀 | 可能原因 | 解決方法 |
移動(dòng)樣品后畫(huà)面變模糊 | 顯微鏡不垂直 | 調垂直顯微鏡 |
樣品臺不水平 | 調水平樣品臺 |
樣品不平 | |
顯微鏡視場(chǎng)亮度不足，邊緣切割或看不到像 | 轉換器不在定位位置上 | 把轉換器轉到定位位置上 |
管鏡轉盤(pán)不在定位位置上 | 把管鏡轉盤(pán)轉到定位位置上 |
照明的亮度不足 | 調節光源亮度或者把孔徑光欄孔調大 |
沒(méi)有裝目鏡 | 裝上目鏡 |
沒(méi)有裝物鏡 | 裝上物鏡 |
顯微鏡像質(zhì)變差 | 目鏡臟 物鏡臟 管鏡臟 | 對目鏡，物鏡，管鏡臟的地方進(jìn)行清潔 |
孔徑光欄關(guān)的太大或者太小 | 調節孔徑光欄 |
沒(méi)有調好焦 | 調節調焦手輪 |
樣本上蓋有蓋玻片等介質(zhì) | 移開(kāi)蓋玻片等介質(zhì) |
圖像***邊清晰，***邊模糊 | 樣本傾斜放置 | 放平樣本，或者調節樣品臺水平 |
物鏡沒(méi)有旋緊 | 旋緊物鏡 |
眼睛容易疲勞 | 雙目頭的瞳距和操作者不匹配 | 調節雙目頭的瞳距 |
| 目鏡視度調節不正確 | 調節目鏡視度 |
| 照明亮度不合適 | 調節光源亮度或者孔徑光欄孔 |
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
