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低噪聲，直流電驅動(dòng)

隔離套裝實(shí)現PA***電信測試精度

隔絕水循環(huán)保護chuck底座

可以在絕大多數探針臺上加裝

易于裝卸

規格

真空吸附載物臺的尺寸 

4, 6, 8,英寸直徑，1英寸厚度 

Chuck 平整度

+ -10 微米 

控溫范圍

常溫到300攝氏度

控溫精度

0.1℃

溫度穩定度

+- 1%

從25 ℃開(kāi)始升溫時(shí)間  

100 ℃    150 ℃    200 ℃  300 ℃

(4 英寸chuck，單位為

分鐘：秒 ) 

1:00      2:30      3:00    4:30

電源

直流

材質(zhì)

不銹鋼 

需求

供電

220 VAC, 60Hz

電力消耗

4英寸chuck 700W

6英寸chuck 1000W

8英寸chuck 1500 W

真空

-250 mmHg, 7 liter/min

循環(huán)水

20 Liter/Min

尺寸

控制器 350mm長(cháng) x 300mm寬 x 150mm高 

重20 Kg

附件

高溫配件，可以升溫至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃

低溫配件，可以冷卻至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低溫至-196 ℃

用于其他品牌探針臺的安裝轉接口 

方形chuck 

更高溫度控制精度

更高溫度均勻性

加速升溫配件

水冷箱

更低電流測試用的屏蔽裝置

真空腔體

測試屏蔽腔體

真空吸附的chuck

鍍金的chuck

鍍鎳的chuck