Scanning Microwave Impedance Microscopy,簡(jiǎn)稱(chēng)為sMIM,掃描微波阻抗顯微鏡,讓您的AFM成為專(zhuān)業(yè)的電學(xué)顯微鏡!
50nm超高分辨率,~100nm內部電學(xué)探測,導體、半導體、絕緣體的廣泛適用度,為您提供電導率、介電常數、摻雜濃度納米***高靈敏度電學(xué)表征成像的解決方案。
Scan Wave? 可應用于多種領(lǐng)域材料的研究和發(fā)展:微電子材料,鐵電材料,工業(yè)材料,以及石墨烯、碳納米管,2D半導體、納米材料等新星材料等。

獨立掃描模塊,包括微波信號發(fā)生器、探針干涉模塊、自主同軸屏蔽探針、以及微波近場(chǎng)軟件,可應用于各種AFM平臺。
特殊MEMS結構探針,有效避免散雜磁場(chǎng)的干擾
?專(zhuān)業(yè)多功能自由切換電學(xué)顯微鏡測試功能體驗
sMIM-C成像:介電常數、電容變化;
sMIM-R成像:電導率、電阻率變化;
dC/dV 振幅:載流子濃度;
dC/dV 相位:載流子類(lèi)型+/- ;
dR/dV 振幅:相關(guān)損失系數;
dR/dV 相位:相關(guān)損失系數
?高精度電學(xué)測試,50nm分辨率;
?工業(yè)***高靈敏度、低噪音,“Hard stuff”材料電學(xué)測試不再是難題;
?可實(shí)現表面下成像、檢測(>100nm)

?不同材料同步測量:導體、半導體、絕緣體、電介質(zhì)都可以實(shí)現,不同的材料甚至分類(lèi)都可以 在***次掃描中觀(guān)測。
?簡(jiǎn)易操作:不需要樣品特別處理,不需要將樣品放置在導電或電流中,人性化軟件設計,操作簡(jiǎn)單。
?接觸和非接觸模式多種掃描模式:即使在做力曲線(xiàn),只要你想實(shí)現,就可以獲得電學(xué)數據;
