JEM-ARM200F NEOARM 原子***分辨率透射電子顯微鏡
NEOARM” 標配了日本電子獨自開(kāi)發(fā)的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)–old-FEG)和全新的高階球差校正器(ASCOR)。無(wú)論是在200kV的高加速電壓還是在30kV的低加速電壓下,均能實(shí)現原子***分辨率的觀(guān)察與分析。同時(shí)還配備了自動(dòng)像差校正系統,可以自動(dòng)進(jìn)行快速準確的像差校正。新STEM成像技術(shù)(e-ABF法)可以更加簡(jiǎn)便地觀(guān)察到含有輕元素樣品的高清晰(襯度)圖像。

產(chǎn)品規格:分辨率*1STEM HAADF 圖像: 70 pm (200 kV)、100 pm (80 kV)、160 pm (30 kV)
TEM 信息分辨率: 100 pm (200 kV)、110 pm (80 kV)、250 pm (30 kV)
電子槍標配冷場(chǎng)電子槍
球差校正器STEM: NEO ASCOR HOAC*2、TEM: CETCOR with DSS*3
校正器自動(dòng)合軸系統日本電子NEO JEOL COSMO™ 自動(dòng)合軸系統、Ad-hock合軸(SIAM)
加速電壓30 ~ 200 kV( 標配30、80、200 kV;選配60、120 kV)
無(wú)磁場(chǎng)模式標配洛倫茲模式、放大倍數 ( ×50 ~ 80 k熒光屏為參考面)
樣品移動(dòng)系統X,Y,Z 軸高精度機械驅動(dòng)、標配超高精度壓電陶瓷驅動(dòng)
操作類(lèi)型RDS*4 操作模式*4
*1 裝配UHR(超高分辨率)極靴與STEM/TEM球差校正器
*2 HOAC(高階球差校正器)
*3 DSS(DeScan系統)
*4 RDS(安裝室分隔式)
主要特點(diǎn): ◇ 球差校正器ASCOR(Advanced STEM Corrector)
“NEOARM”配備的新型球差校正器ASCOR能夠校正高階像差(即6重像散,目前阻礙透射電鏡分辨率進(jìn)***步提高的障礙。),ASCOR和Cold-FEG的完美組合實(shí)現了從高加速電壓到低加速電壓下的高分辨率。
◇ 自動(dòng)像差校正軟件JEOL COSMO™(Corrector System Module)
JEOL COSMO™采用了全新像差校正算法(SRAM:Segmented Ronchigram Auto-correlation function Matrix),校正像差不需要交換標準樣品也可以快速精確地校正至高階像差。與采用傳統校正算法的系統相比,JEOL CMSMO™能夠高速處理數據,并且使操作進(jìn)***步自動(dòng)化。因此,客戶(hù)在工作流程中可以簡(jiǎn)便高效地進(jìn)行高分辨率觀(guān)察及各種元素分析。
◇ 新ABF(Annular Bright Field)檢測器系統
ABF檢測器作為高分辨觀(guān)察輕元素的有效手段已被廣泛使用。“NEOARM”支持能增強輕元素襯度的新ABF成像技術(shù)(e-ABF:enhanced ABF),實(shí)現了對含有輕元素樣品的原子***結構的觀(guān)察。
◇ Perfect sight檢測器
STEM系統標配的Perfect sight檢測器作為混合檢測器,采用了由不同材料制成的閃爍器。該檢測器具有極佳的寬電壓適應性,不依賴(lài)于加速電壓始終都可以獲得高襯度的STEM圖像,并可用于定量STEM的分析研究工作。
◇ Viewing Camera系統
“NEOARM”標配的Viewing Camera系統是以遠程操控為前提而設計的利用雙相機觀(guān)察圖像的系統。此系統允許主機房和操作間分離,因此能夠靈活地安排操作環(huán)境。電鏡主機采用的純白色和JEOL銀色在室內協(xié)調美觀(guān),外觀(guān)設計精煉簡(jiǎn)潔。