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BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器

價(jià)  格：詢(xún)價(jià)

產(chǎn)  地：更新時(shí)間：2021-03-29 17:21

品  牌：其他型  號：

狀  態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2090

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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

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電   話(huà)： 400-006-7520

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配送方式： 上海自提或三方快遞

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產(chǎn)品參數

性能

  • 可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見(jiàn)零件編號標簽）

  • 可調比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）

  • 校準精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數+0.5%滿(mǎn)量程）

  • 可重復性：0.5%滿(mǎn)量程

  • 標準控制器響應時(shí)間常數：100ms（可利用PID調節功能調節）

  • 預熱時(shí)間：70ms，達到完整精度

工作條件

  • 兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮（可通過(guò)串行連接選擇氣體）；訂購時(shí)還可以選擇氦氣或氫氣校準（僅使用一種氣體）

  • 工作溫度：0°C至+50°C

  • 大內部壓力（靜態(tài)）：對于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）

  • 耐受壓力：175 psig（190 psia）

  • STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）



產(chǎn)品介紹




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