Leica EM RES102 通過(guò)離子槍激發(fā)獲得離子束,以***定入射角度對樣品進(jìn)行轟擊,以去除樣品表面原子,從而實(shí)現對樣品的離子束加工。Leica EM RES102主要功能為:對無(wú)機薄片樣品進(jìn)行離子減薄,使得薄片樣品可被透射電子穿過(guò),從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀(guān)察;對無(wú)機塊狀樣品進(jìn)行離子束拋光、離子束刻蝕,樣品表面離子清洗及斜坡切割,便于SEM掃描電子顯微鏡觀(guān)察樣品內部結構信息
特點(diǎn)
? 具有2把離子槍?zhuān)x子束能量為0.8keV-10keV,相對位置,可分別±45°傾斜,樣品臺傾斜角度-120°至210°,離子束加工角度0°至90°,樣品平面擺動(dòng)角度<360°,垂直擺動(dòng)距離±5mm。實(shí)際操作參數根據具體應用需要選擇(系統備有參考參數,也可自行設置參數并存儲)
? 可選配樣品臺:TEM樣品臺(?3.0mm或?2.3mm),FIB樣品清洗臺,SEM樣品臺,斜坡切割樣品臺(對樣品35°或90°斜坡切割)等
? SEM樣品臺可容納樣品尺寸:直徑25mm,高度12mm
? 全無(wú)油真空系統,樣品室帶有預抽室,保證樣品交換時(shí)間<1分鐘
? 全電腦控制,觸摸屏操作界面,內置視頻觀(guān)察系統,可實(shí)時(shí)觀(guān)察樣品處理過(guò)程
Leica EM RES102 通過(guò)離子槍激發(fā)獲得離子束,以***定入射角度對樣品進(jìn)行轟擊,以去除樣品表面原子,從而實(shí)現對樣品的離子束加工。Leica EM RES102主要功能為:對無(wú)機薄片樣品進(jìn)行離子減薄,使得薄片樣品可被透射電子穿過(guò),從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀(guān)察;對無(wú)機塊狀樣品進(jìn)行離子束拋光、離子束刻蝕,樣品表面離子清洗及斜坡切割,便于SEM掃描電子顯微鏡觀(guān)察樣品內部結構信息
特點(diǎn)
? 具有2把離子槍?zhuān)x子束能量為0.8keV-10keV,相對位置,可分別±45°傾斜,樣品臺傾斜角度-120°至210°,離子束加工角度0°至90°,樣品平面擺動(dòng)角度<360°,垂直擺動(dòng)距離±5mm。實(shí)際操作參數根據具體應用需要選擇(系統備有參考參數,也可自行設置參數并存儲)
? 可選配樣品臺:TEM樣品臺(?3.0mm或?2.3mm),FIB樣品清洗臺,SEM樣品臺,斜坡切割樣品臺(對樣品35°或90°斜坡切割)等
? SEM樣品臺可容納樣品尺寸:直徑25mm,高度12mm
? 全無(wú)油真空系統,樣品室帶有預抽室,保證樣品交換時(shí)間<1分鐘
? 全電腦控制,觸摸屏操作界面,內置視頻觀(guān)察系統,可實(shí)時(shí)觀(guān)察樣品處理過(guò)程