1200低真空CVD系統
價(jià) 格：詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-03-08 15:39
品 牌：其他型 號：YHGS-120612I-3ZD
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簡(jiǎn)介
1200℃低真空CVD系統是由滑動(dòng)式管式實(shí)驗電爐，混氣系統，真空及壓力系統等組成。此系統燒結溫度可達1200℃，通過(guò)滑動(dòng)爐體來(lái)實(shí)現快速的升降溫；配置不同的真空系統來(lái)達到理想的真空度；同時(shí)通過(guò)三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。是為石墨烯生長(cháng)、研發(fā)的專(zhuān)用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗。
主要技術(shù)參數
爐體結構 | 整機采用SUS304不銹鋼材質(zhì)，流線(xiàn)型外觀(guān)，斷熱式結構； 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好； 爐子底部裝有***對滑軌，移動(dòng)平穩； 爐子可以手動(dòng)從***端滑向另***端，實(shí)現快速的加熱和冷卻； 支撐兩端安裝油壓緩沖器； 爐蓋可開(kāi)啟，可以實(shí)時(shí)觀(guān)察加熱的物料 |
尺寸重量 | 1240*600*1340mm；170kg |
電源 | 電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW |
爐管 | 高純石英管，高溫下化學(xué)穩定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數極??； 尺寸：Φ60/80/100*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭，通過(guò)用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空； ***個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷； 可調節的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐； 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合。 |
加熱系統 | 加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲，表面負荷高、經(jīng)久耐用； 加熱區長(cháng)度：300mm；恒溫區長(cháng)度：150mm； 工作溫度：≤1150℃； 溫度：1200℃； 升溫速率：推薦≤10℃/min，*快升溫速度30℃/min |
溫控系統 | 日本富士?jì)x表，64段控溫程序，可分步、分段； 測溫元件：N型熱電偶； 控溫精度：±1℃
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混氣系統 | 三路質(zhì)量流量計：數字顯示、氣體流量自動(dòng)控制 內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套 每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥 通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調節氣體流量 流量規格：0~1SLM 流量精度：±1.5% |
真空系統 | 采用雙極旋片真空泵，真空度可達10Pa |
可選配件 | 高真空系統，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件 |
保修期 | 整機***年保修（相關(guān)耗材除外） |
可根據客戶(hù)要求定制！
特色與優(yōu)勢
1.滑動(dòng)式爐體結構實(shí)現快速升降溫；
2.開(kāi)啟式爐蓋設置，降低沉積溫度、加快沉積速度；
3.日本富士溫控儀表，64段控溫程序，可分布，分段，三路質(zhì)量流量計，數字顯示精確控制氣體流量；
4.雙極旋片真空泵+分子泵，實(shí)現對真空度的不同要求，極限真空可達4.0*10-4Pa。
注：該儀器未取得中華人民共和***醫療器械注冊證，不可用于診斷或治療等相關(guān)用途
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
