自動(dòng)充氣平衡精密光學(xué)隔振平臺
價(jià) 格:詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地:更新時(shí)間:2021-05-06 11:42
品 牌:其他型 號:JC15-HGPT-C
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:2502
400-006-7520
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自動(dòng)充氣平衡精密光學(xué)隔振平臺特 點(diǎn):
本系列平臺是在JC15-HGPT-B型光學(xué)隔振平臺的基礎上增加自動(dòng)平衡功能, 采用空氣伺服系統, 自動(dòng)調整水平,臺面的高度由空氣調節閥在桌面運動(dòng)的激勵下維持和控制,把系統對微振的響應反饋到系統中, 改變隔振特性,當負載沿工作表面移動(dòng)或發(fā)生突然變化時(shí)能夠使臺面自動(dòng)維持水平.瞬間達到初始的平衡狀態(tài),提高光學(xué)隔振平臺的隔振效果
產(chǎn)品參數
自動(dòng)充氣平衡精密光學(xué)隔振平臺主要參數:
平面不大于0.05mm/m
表面粗糙度小于0.8um
固有頻率垂直1.2Hz-1.8Hz,水平1.2Hz-1.8Hz
振幅不大于1.2um
重復定位精度±0.05mm