URE-2000/600 紫外單面光刻機
1、設備主要技術(shù)指標：
(1)光束口徑： 650mm×650mm
(2)有效曝光面積：600mm×600mm
(3)分辨力：≤3μm
(4)對準精度： ±1.5μm
(5)對準顯微鏡中心距：75mm-600mm 可調
(6)掩模尺寸：650mm×650mm
(7)樣片尺寸：可適應Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm×600mm，厚度為 0.2mm～20mm 的多種規格樣片；
(8)光源不均勻性：≥ 95%（Ф600mm）
(9)掩模相對于樣片運動(dòng)行程：X: ± 15mm; Y: ± 15mm; Z：15mm Thelta: ± 10º
(10)曝光面光強：>15mW/cm2（i、g、h 線(xiàn)）
(11)汞燈功率：2500W（直流）
(12)曝光量設定方式：定時(shí)（***方式 0.1s-9999.9s,設定精度 0.1s）
2．技術(shù)主要組成部分
大面積精細膠模圖形結構成型機組成主要由：高均勻照明曝光系統、對準工件臺系統、CCD 對準系統、計算機控制系統、氣動(dòng)控制系統及輔助設備構成。各系統構成與配置
如下:
（1）高均勻照明系統包括：
。 冷光橢球鏡；
。2500W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德***歐司朗)
。XYZ 汞燈調節臺；
。 光學(xué)系統：橢球反射鏡、光欄、快門(mén)、平面冷光反射鏡 1、平面冷光反射鏡 2、蠅眼透鏡組、拋物面冷光反射鏡；
。 冷卻風(fēng)扇；
。 循環(huán)水冷系統。
（2）對準工件臺系統包括：
。掩模樣片相對運動(dòng)臺；
。 轉動(dòng)臺；
。 樣片調平機構,自動(dòng)完成；
。樣片調焦機構，自動(dòng)調整；
。承片臺 10 個(gè)：Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 及 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm×600mm；
。 掩模夾 1 個(gè)：650mm×650mm；
。 抽拉式上下片機構。
（3）CCD 對準系統包括：
。 光源、電源；
。 顯微鏡工作臺；
。 成像光學(xué)系統（兩套）；
。 數據采集卡；
。 CCD 圖像處理部件（兩套）。
（4）電控系統包括：
。 大功率汞燈觸發(fā)電源；
。單片機控制系統；
。 薄膜開(kāi)關(guān)面板；
。 控制柜桌；
（5）氣動(dòng)系統包括：
。 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等；
3 。電磁閥驅動(dòng)部件；
。 氣動(dòng)顯示儀表。
（6）其他配套附件
。 真空泵***臺（無(wú)油泵、SK-65C 型）；
。 空壓機***臺（靜音型、YB-W30 型）；
。水冷機***臺（H35W 型）；
。 配套接口管道
3.相關(guān)技術(shù)資料：
。設備使用及維護說(shuō)明書(shū)
。出廠(chǎng)檢驗合格證。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
