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DS-2000/14K 無(wú)掩膜單面光刻機
 

1．技術(shù)特征
。采用 DMD 作為數字掩模，像素數 1024×768
。采用 14 倍縮小投影光刻物鏡成像。
。采用技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡實(shí)現均明。
。具備對準功能
。采用進(jìn)口精密光柵、進(jìn)口電機、進(jìn)口導軌、進(jìn)口絲杠實(shí)現精確工件定位和曝光拼接，可適應 100mm100mm 基片。
。采用 CCD 檢焦系統實(shí)現整場(chǎng)調平、自動(dòng)逐場(chǎng)調焦或自動(dòng)選場(chǎng)調焦曝光。
 

2．技術(shù)參數
。光源：350W 球形汞燈（曝光譜線(xiàn)： i 線(xiàn)）或紫外LED；
。照明不均勻性：2%；
。物鏡倍率：14 倍
。曝光場(chǎng)面積：1mm×0.75mm
。光刻分辨力：1 μm
。工件臺運動(dòng)范圍：X：100mm、 Y：100mm；
。工件臺運動(dòng)定位精度：±0.65μm；
。調焦臺運動(dòng)靈敏度：1μm；
。對準精度：±2μm；
。調焦臺運動(dòng)行程：6mm
。檢焦：CCD 檢測，檢測精度 2 微米
。轉動(dòng)臺行程：±6°以上
?；叽?br style="padding-bottom: 0px; padding-top: 0px; padding-left: 0px; margin: 0px auto; padding-right: 0px" />。外徑: 。1mm—100mm，厚度：0.1mm－－5mm

3．外形尺寸：840mm（長(cháng)）x450mm(寬) x830mm（高）
 

4．配置
（1）照明系統
。350W 直流汞燈（或 LED）、橢球鏡、準直鏡、蠅眼透鏡組、場(chǎng)鏡組、365nm 濾光片、氣動(dòng)快門(mén)、DMD（美***德州儀器）、冷卻風(fēng)扇。
。投影物鏡：縮小倍率 14 倍
。分辨力 1μm 

（2）工件臺系統
。X 臺：電機驅動(dòng)器（日本樂(lè )孜）、絲杠（日本 NSK）、導軌 2（日本 THK）、光柵（美***）
。Y 臺：電機及驅動(dòng)器（日本樂(lè )孜）、絲杠（日本 NSK）、導軌 2（日本 THK）、光柵 2（美***）
。轉動(dòng)臺：電機及驅動(dòng)器（日本樂(lè )孜），轉動(dòng)軸系
。Z 臺：電機及驅動(dòng)器（日本樂(lè )孜）、絲杠、上升導向機構
。承片臺：4 英寸（可增加 3 英寸、2 英寸、1 英寸等）
 

（3）檢焦系統
。焦面光學(xué)檢測系統、CCD、焦面檢測軟件
 

（4）對準系統
。對準光學(xué)檢測系統、CCD、對準軟件
 

（5）電控系統
。汞燈電源及觸發(fā)器、主機控制系統、軟件、計算機、監視器（19 英寸液晶）、接口
 

（6）氣動(dòng)系統
。電磁閥、旋轉氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
 

（7）其他附件
。真空泵***臺(無(wú)油泵)
?？諌簷C***臺（靜音泵）
。管道