1．技術(shù)參數
。曝光面積：100mmX100mm
。曝光波長(cháng)：365nm
。分辨力：0.8μm（膠厚 2μm 的正膠）
。對準精度：± 0.6μm
。掩模樣片整體運動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm
。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
。樣片尺寸：直徑 ± 15mm－－± 100mm（各種不規則片）
厚度 0.1mm－－6mm(可擴展為 15mm)
。曝光方式：定時(shí)（***方式）和定劑量
。具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
。照明不均勻性： 2.5%（±100mm 范圍）
。雙目雙視場(chǎng)對準顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對準，也可通過(guò) CCD+顯示器對準，光學(xué)合像，光學(xué)倍數 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍物鏡 3 對：4 倍、10 倍、20 倍； 目鏡 3 對：10 倍、16 倍、20 倍
。調平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復
。數字設定對準間隙和曝光間隙
。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口15
。掩模相對于樣片運動(dòng)行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; Thellta: ±6 度
。焦厚：600μm（SU8 膠，用戶(hù)提供檢測條件）
。光源平行度：1.2º
。曝光能量密度：>20mW/cm
。汞燈功率：1000W（直流，進(jìn)口）
2．外形尺寸：1400mm（長(cháng)）1200mm(寬) 1950mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
。冷光橢球鏡
。XYZ 汞燈調節臺
。冷卻風(fēng)扇
。1000W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德***歐司朗)
。光學(xué)系統：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 個(gè)透鏡）、i 線(xiàn)濾光片、場(chǎng)鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺
。掩模樣片整體運動(dòng)臺
。掩模樣片相對運動(dòng)臺
。轉動(dòng)臺
。樣片調平機構,自動(dòng)完成
。樣片自動(dòng)調焦機構
。承片臺 4 個(gè)（15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸）
。掩模夾 4 個(gè)（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
?；槔缴舷聶C構
（3）對準顯微鏡及 CCD 對準系統
。光源、電源
。雙目雙視場(chǎng)對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
。CCD
。21 英寸液晶顯示器
（4）電控系統
。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)16
。單片機控制系統
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（5）氣動(dòng)系統
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等
。電磁閥驅動(dòng)
。氣動(dòng)儀
（6）其他附件
。真空泵***臺（無(wú)油泵）
?？諌簷C***臺（靜音泵）
。管道
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
