高級原子沉積機
價(jià) 格：詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-01-19 15:36
品 牌：型 號：P-300B Advanced ALD
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：1987
400-006-7520
聯(lián)系我時(shí)，請說(shuō)明是在上海非利加實(shí)業(yè)有限公司上看到的，謝謝！
聯(lián) 系 人：
上海非利加實(shí)業(yè)有限公司
電 話(huà)：
400-006-7520
傳 真：
400-006-7520
配送方式：
上海自提或三方快遞
聯(lián)系我時(shí)請說(shuō)在上海非利加實(shí)業(yè)有限公司上看到的,謝謝！
PICOSUN P-300B Advanced ALD 高***原子沉積機技術(shù)參數
?；叽绾皖?lèi)型 300mm晶圓10片/批次（標準間距）
。200mm晶圓25+2片/批次（標準間距）
工藝溫度 ：50 - 500 °C
基片傳送選件：。 氣動(dòng)升降（手動(dòng)加載）
。半自動(dòng)裝載，用線(xiàn)性裝載器實(shí)現
。52片晶圓盒式全自動(dòng)裝載，用真空批量Load lock實(shí)現
前驅體： 。液態(tài)，固態(tài)，氣態(tài)，臭氧源
。前驅源余量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù)
。4根獨立源管線(xiàn)，*多加載6個(gè)前驅體源
重量 ：400 + 300 kg
尺寸： (W x H x D) 149 cm x 191 cm x 111 cm
選件 ：PICOFLOW™ 擴散增強，N2發(fā)生器，尾氣處理器，定制設計，與工廠(chǎng)軟件連接服務(wù)。
驗收標準 ：標準設備驗收標準為 Al2O3 工藝
| PICOSUN高產(chǎn)量的批量型工業(yè)用ALD系統
各種的批量產(chǎn)品裝載及自動(dòng)化選項ALD技術(shù)可以覆蓋各種形狀、各種表面的樣品，可以覆蓋*細小的地方，*難到達的地方。具有高度的保形性、均***性及***無(wú)針孔。這使得ALD可以應用于各種行業(yè)里，實(shí)現各種表面的保護。ALD薄膜可以附著(zhù)在各種表面上，例如金屬，玻璃，塑料，乃至纖維及粉末。作為氣相、低溫的沉積技術(shù)，ALD薄膜可以生長(cháng)在非常敏感的表面上，例如聚合物薄膜。
***，Picosun的ALD技術(shù)應用在鐘表部件、珠寶、硬幣上進(jìn)行防著(zhù)色，防腐蝕的裝飾涂層。在生物植入醫療部件上的生物兼容、生物活性涂層。致密、惰性、密封、彈性、透明的ALD薄膜技術(shù)挑戰傳統的膜生長(cháng)方式。在PCB防腐蝕保護、防摩損等領(lǐng)域，ALD層大大提升了部件的質(zhì)量、可靠性及壽命。
D 應用
ALD U
 產(chǎn)品
應用 . | |
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
