生產(chǎn)線(xiàn)型原子層沉積機
價(jià) 格：詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-01-19 15:36
品 牌：型 號：P-300S
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2956
400-006-7520
聯(lián)系我時(shí)，請說(shuō)明是在上海非利加實(shí)業(yè)有限公司上看到的，謝謝！
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| P-300S 生產(chǎn)線(xiàn)型原子層沉積機 |
| 詳細介紹 |
| PICOSUN P-300S Pro ALD
技術(shù)參數
襯底尺寸和類(lèi)型 ：300mm晶圓/單片
工藝溫度： 50 - 500 °C
基片傳送選件：。 半自動(dòng)裝載，用單片Load lock與磁力操縱桿實(shí)現
。25片晶圓盒對盒式全自動(dòng)裝載（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™ 300集群系統實(shí)現
標準 ：SEMI S2認證
前驅體：。液態(tài)，固態(tài)，氣態(tài)，臭氧源
。等離子體（僅供200mm晶圓使用，*多4路氣體）
。前驅源余量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù)
。6條獨立源管線(xiàn),*多加載8個(gè)前驅體源（*多12個(gè)前驅體源，加上plasma管路共7根獨立源管線(xiàn)）
重量：820 kg
尺寸：(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm
選件： 集群工具，PICOFLOW™擴散增強，N2發(fā)生器，尾氣處理，定制設計，與工廠(chǎng)軟件連接服務(wù)。
驗收標準 ：。標準設備驗收標準為Al2O3工藝，
。其他工藝可具體協(xié)商：其他工藝、應用具體驗收標準如：
- 不均勻性
- 顆粒物含量
- 重金屬污染
- 電學(xué)性能
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| PICOSUN高產(chǎn)量的批量型工業(yè)用ALD系統
各種的批量產(chǎn)品裝載及自動(dòng)化選項ALD技術(shù)可以覆蓋各種形狀、各種表面的樣品，可以覆蓋*細小的地方，*難到達的地方。具有高度的保形性、均***性及***無(wú)針孔。這使得ALD可以應用于各種行業(yè)里，實(shí)現各種表面的保護。ALD薄膜可以附著(zhù)在各種表面上，例如金屬，玻璃，塑料，乃至纖維及粉末。作為氣相、低溫的沉積技術(shù)，ALD薄膜可以生長(cháng)在非常敏感的表面上，例如聚合物薄膜。
***，Picosun的ALD技術(shù)應用在鐘表部件、珠寶、硬幣上進(jìn)行防著(zhù)色，防腐蝕的裝飾涂層。在生物植入醫療部件上的生物兼容、生物活性涂層。致密、惰性、密封、彈性、透明的ALD薄膜技術(shù)挑戰傳統的膜生長(cháng)方式。在PCB防腐蝕保護、防摩損等領(lǐng)域，ALD層大大提升了部件的質(zhì)量、可靠性及壽命。
D 應用
ALD U
 產(chǎn)品
應用 . | |
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
