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俄羅斯 Optosystem 準分子激光器

價(jià)  格:詢(xún)價(jià)

產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-01-19 15:36

品  牌:型  號:CL7000

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:1058

400-006-7520
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俄羅斯Optosystem 準分子激光器CL7000
       

      準分子激光器是傳統的氣體激光器,由于波長(cháng)短(紫外),短脈沖寬度,高脈沖能量,是激光器***族不可替代的品種!應用上,準分子激光器在脈沖沉積鍍膜(PLD),光纖光柵刻寫(xiě),LASIK,光刻,微納加工等方面占主導的地位。


CL7000系列技術(shù)參數:

型號

ArF

KrF

XeCl

波長(cháng)

193 nm

248 nm

308 nm

管材料

陶瓷

預電離

火花

標準脈沖能量

250 mJ

400 mJ

300 mJ

平均功率
CL 7020
CL7050
CL 7100


5 W
10 W
20 W


8 W
20 W
35 W


6 W
15 W
25 W

重復頻率
CL 7020
CL 7050
CL 7100


20 Hz
50 Hz
100 Hz

脈寬

17 ns

20 ns

20 ns

脈沖穩定度

sigma < 2%

光斑大小

6 x 20 mm

6 x 21 mm

7 x 22 mm

光束發(fā)散角

1.5 x 4.5 mrad

時(shí)間抖動(dòng)

< 2 ns

尺寸, (重量)

1350L x 375W x 710H мм (170 kg)

冷卻
CL 7020
CL 7050
CL 7100


風(fēng)冷
水冷(水流< 1L/min)
水冷(水流< 3L/min)

功率
CL 7020
CL 7050
CL 7100


220V / 50Hz, 10А, 不超過(guò)1500 VA
220V / 50Hz, 10А, 不超過(guò) 1800 VA
380/220V, 50Hz, 10А, 不超過(guò) 3500 VA

氣體

1 premix cylinder

控制接口

RS 232, DOS/Windows



可選功能:
 

      1 、1000Kz型號可選
      2、窄線(xiàn)寬型號可選,線(xiàn)寬0.03cm-1
      3、 F2,157nm型號可選

特點(diǎn):

      1、陶瓷放電激光腔設計,長(cháng)壽命
      2、激光腔,電子系統***體化設計
      3、功率穩定運行模式
      4、預混合供氣,使用簡(jiǎn)單
      5、計算機控制

應用

      1、準分子激光脈沖沉積鍍膜
      2、準分子激光光柵光纖(FBG)刻寫(xiě)
      3、準分子激光材料加工,微納制造,光刻

 


準分子激光激光沉積鍍膜(PLD)系統示意圖

 


準分子激光器光纖光柵(FBG)刻寫(xiě)原理圖

   

 

 


產(chǎn)品參數


產(chǎn)品介紹




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