瑞士 NanoFrazor 3D納米結構高速直寫(xiě)機
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產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-01-19 15:36
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| NanoFrazor 3D納米結構高速直寫(xiě)機 源自IBM*新研發(fā)成果
|  | | NanoFrazor納米3D結構直寫(xiě)機的問(wèn)世，源于發(fā)明STM和AFM的IBM蘇黎世研發(fā)中心，是其在納米加工技術(shù)的*新研究成果。NanoFrazor納米3D結構直寫(xiě)儀***次將納米尺度下的3D結構直寫(xiě)工藝快速化、穩定化。 |  | NanoFrazor采用尖端直徑為5nm的探針，通過(guò)靜電力精確控制實(shí)現直寫(xiě)3D高精度直寫(xiě)，并通過(guò)懸臂***側的熱傳感器實(shí)現實(shí)時(shí)的形貌探測。相對于其他制備技術(shù)如電子束曝光/光刻技術(shù)(EBL), 聚焦離子束刻蝕(FIB)有以下特點(diǎn)： | ■ 3D納米直寫(xiě)能力
高直寫(xiě)精度 (XY: 10nm, Z: 1nm)
高速直寫(xiě) 20 mm/s 與EBL媲美 ■ 無(wú)需顯影，實(shí)時(shí)觀(guān)察直寫(xiě)效果
形貌感知靈敏度0.1nm
樣品無(wú)需標記識別，多結構套刻，對準精度 5nm ■ 無(wú)臨近效應 高分辨，高密度納米結構 ■ 無(wú)電子/離子損傷 高性能二維材料器件 ■ 區域熱加工和化學(xué)反應 多元化納米結構改性 ■ 大樣品臺 100mm X 100mm | | 新產(chǎn)品發(fā)布：NEW??！ | NanoFrazor Scholar －－小面積直寫(xiě) |  | ■ 3D納米直寫(xiě)能力
高直寫(xiě)精度 (XY: 30nm, Z: 1nm)
高速直寫(xiě) 10 mm/s ■ 無(wú)需顯影，實(shí)時(shí)觀(guān)察直寫(xiě)效果
形貌感知靈敏度0.1nm
樣品無(wú)需標記識別，多結構套刻，對準精度 10 nm ■ 無(wú)臨近效應 高分辨，高密度納米結構 ■ 無(wú)電子/離子損傷 高性能二維材料器件 ■ 區域熱加工和化學(xué)反應 多元化納米結構改性 ■ 小樣品臺 30mm X 30mm |
| 該技術(shù)自問(wèn)世以來(lái)已經(jīng)多次刷新了世界上*小3D立體結構的尺寸，創(chuàng )造了世界上*小的馬特洪峰模型，*小立體世界地圖，*小刊物封面等世界記錄。 |
| 獨特的直寫(xiě)與反饋流程 | | | | PPA(聚苯二醛) 直寫(xiě)膠涂敷在樣品表面。 背熱式直寫(xiě)探針，微區電阻式加熱針尖。與針尖接近的PPA受熱瞬間分解，周?chē)糠钟捎?/span>PPA熱導率低而不受影響。 熱針震動(dòng)模式直寫(xiě)，直寫(xiě)時(shí)探針加熱，每次下針?lè )仁莒o電力控制，垂直精度 1 nm，從而寫(xiě)出3D圖形。 冷針接觸模式掃描，回程掃描時(shí)探針冷卻，由側壁的熱感應器探測樣品高度變化(精度0.1nm), 獲得樣品形貌。反饋數據修正下***行直寫(xiě)。 |
| 獨有的直寫(xiě)針尖設計 |    | | 普通的AFM針尖無(wú)法滿(mǎn)足上述NanoFrazor直寫(xiě)流程的需求，因此NanoFrazor所用針尖是由IBM專(zhuān)門(mén)研發(fā)設計的。該針尖具有兩個(gè)電阻加熱區域，針尖上方的加熱區域可以加熱到1000oC。 第二處加熱區域作為熱導率傳感器位于側臂處，其能感知針尖與樣品距離的變化，精度高達0.1 nm。因此在每行直寫(xiě)進(jìn)程結束后的回掃結構時(shí)，并不是通過(guò)針尖 起伏反饋形貌信息，而是通過(guò)熱導率傳感器感應形貌變化，從而實(shí)現了比AFM快1000余倍的掃描速度，同避免了針尖的快速磨損消耗。 |  |
| NanoFrazor技術(shù)特點(diǎn) | | | | | | | | | | |
| 其他功能 ● 納米顆粒有序定位排列 ● 納米局部化學(xué)反應誘導 ● 表面化學(xué)圖案、結構生成 | 納米顆粒有序定位排列 | 氧化石墨烯的定位還原 |
| 圖形轉移 通過(guò)NanoFrazor3D納米結構直寫(xiě)機獲得的納米圖形結構，可以通過(guò)傳統成熟的工藝技術(shù)，如干法刻蝕，電鍍、注射成型法等進(jìn)行圖形轉移。 |  |
| 應用領(lǐng)域 | | | |  | 快速原型設計開(kāi)發(fā) ● 衍射透鏡，全息圖 ● 非球面微透鏡陣列 ● 波導纖維、光子晶體 ● MEMS/NEMS ● 表面等離子激元，超材料 ● 納米磁學(xué) ● 納米電子器件 ● 生物細胞研究 ● 納米流體控制 ● 反物質(zhì)物理學(xué) | 微納結構 ● 防偽標識 ● DFB 激光、 ● ASICs 的關(guān)鍵部位加工 模板加工 ● 光掩模板 ● 納米壓印印章 ● 注射成型模具
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