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美國 OAI 光刻機

價(jià)  格:詢(xún)價(jià)

產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-01-19 15:36

品  牌:型  號:5000E

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OAI 5000E 光刻機
詳細介紹

型號5000E大面積光刻機用于基板和顯示器

OAI 5000E型大面積掩光刻機是***種的高性能,全自動(dòng)掩模對準器和曝光工具,可為大型平板應用提供超精密,,亞微米對準和分辨率。 其靈活的設計允許在各種基材(圓形或方形)上印刷高達300mm或20“×20”。 曝光系統兼容近,中,或深紫外范圍的光刻膠,并具有計算機控制的LED顯微鏡照明,在不太理想的觀(guān)察環(huán)境中觀(guān)察。


Model 5000E Large Area Mask Aligner for Substrates and Displays
The OAI Model 5000E Large Area Mask Aligner is an advanced, high-performance, fully-automated mask Aligner and exposure tool that delivers ultra precise, Topside, sub-micron alignment and resolution for large, flat panel applications. Its flexible design allows printing on various substrates - round or square - up to 300mm or 20”x20”. The exposure system is compatible with photo resist in Near, Mid, or Deep UV range, and features computer-controlled LED microscope lighting for viewing in less-than-ideal viewing environments.

 


產(chǎn)品參數


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