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技術(shù)參數

。曝光面積：4 英寸

。曝光波長(cháng)：365nm

。分辨力：1.5μm（膠厚 2 m 的正膠）

。對準精度：±1μm

。掩模樣片整體運動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。樣片尺寸：直徑 Ф 15mm－－ Ф 100mm，厚度 0.1mm－－6mm(可擴展為 15mm)

。曝光方式：定時(shí)（***方式）和定劑量

。照明不均勻性： 5%（Ф 100mm 范圍）

。雙目雙視場(chǎng)對準顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對準，也可通過(guò) CCD+顯示器對準，光學(xué)合像，光學(xué)倍數 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

                        物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍

                        目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍

。掩模相對于樣片運動(dòng)行程：

      X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度

。汞燈功率：200W（直流）

。曝光能量密度：6mW/cm

2．外形尺寸：650mm（長(cháng)）x600mm(寬) x900mm（高）36

3．配置

（1）曝光頭

。200W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德***歐司朗)

。XYZ 汞燈調節臺

。光學(xué)系統

。冷卻風(fēng)扇

（2）對準工件臺

。掩模樣片整體運動(dòng)臺

。掩模樣片相對運動(dòng)臺

。轉動(dòng)臺

。樣片調平機構,手動(dòng)

。樣片調焦機構，手動(dòng)

。承片臺 3 個(gè)（Ф 50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm ）

。掩模夾 4 個(gè)（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）

。掩模抽拉式上下機構

（3）對準顯微鏡

。光源（配備品 2 只）、電源

。雙目雙視場(chǎng)對準顯微鏡主體

。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD（臺灣）

。21 寸液晶顯示器

（4）電控系統

。汞燈觸發(fā)電源(200W 直流汞燈)

。單片機控制系統

?？刂茩C箱

（5）氣動(dòng)系統

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（6）其他附件

。真空泵***臺

。管道