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1．技術(shù)特征

.采用 DMD 作為數字掩模，像素數 1024×768 或 1920×1080 或 2560x1600 三種選配

.采用縮小投影光刻物鏡成像，分辨力 1um。

.采用技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡實(shí)現均明。

.采用進(jìn)口精密光柵、進(jìn)口電機、進(jìn)口導軌、進(jìn)口絲杠實(shí)現精確工件定位和曝光拼接，可適應 100mm100mm 基片。

.采用 CCD 檢焦系統實(shí)現整場(chǎng)調平、自動(dòng)逐場(chǎng)調焦或自動(dòng)選場(chǎng)調焦曝光。

.具備對準功能

2．技術(shù)參數

.光源：350W 球形汞燈（曝光譜線(xiàn)： i 線(xiàn)）或紫外 LED；

.照明不均勻性：2%；

.物鏡倍率：7.6 倍（或 14 倍與選擇的 DMD 像素尺寸有關(guān)）

.曝光場(chǎng)面積：1mm×0.7mm （或 1.9mm×1.8mm ，或 2.5mm×1.6mm，與選擇的 DMD 像素數有關(guān)）

.光刻分辨力：1 μm

.工件臺運動(dòng)范圍：X：100mm、 Y：100mm；

.工件臺運動(dòng)定位精度：± 0. 5μm；

.調焦臺運動(dòng)靈敏度：1μm；

.對準精度：± 2μm；

.調焦臺運動(dòng)行程：6mm

.檢焦：CCD 檢測，檢測精度 2 微米

.轉動(dòng)臺行程：±6°以上

.直寫(xiě)速度：40mm2 /min

基片尺寸

.外徑: Ф1mm—Ф100mm，厚度：0.1mm－－5mm

3．外形尺寸：840mm（長(cháng)）x450mm(寬) x830mm（高）

4．配置

（1）照明系統

.350W 直流汞燈（或紫外 LED）、橢球鏡、準直鏡、蠅眼透鏡組、場(chǎng)鏡組、365nm 濾光片、氣動(dòng)快門(mén)、DMD（美

***德州儀器）、冷卻風(fēng)扇。

.投影物鏡 7.6 倍，可根據用戶(hù)要求另增加***種.

.分辨力 1m（縮小倍率 7.6 倍）

（2）工件臺系統

.X 臺：電機驅動(dòng)器（日本樂(lè )孜）、絲杠（日本 NSK）、導軌 2（日本 THK）、光柵（美***）

.Y 臺：電機及驅動(dòng)器（日本樂(lè )孜）、絲杠（日本 NSK）、導軌 2（日本 THK）、光柵 2（美***）

.轉動(dòng)臺：電機及驅動(dòng)器（日本樂(lè )孜），轉動(dòng)軸系

.Z 臺：電機及驅動(dòng)器（日本樂(lè )孜）、絲杠、上升導向機構

.承片臺：4 英寸（可增加 3 英寸、2 英寸、1 英寸等）

（3）檢焦系統

.焦面光學(xué)檢測系統、CCD、焦面檢測軟件

（4）對準系統

.對準光學(xué)檢測系統、CCD、對準軟件

（5）電控系統

.汞燈電源及觸發(fā)器、主機控制系統、軟件、計算機、監視器（19 英寸液晶）、接口（6）氣動(dòng)系統

.電磁閥、旋轉氣缸、減壓閥、壓力表、真空表

（7）其他附件

.真空泵***臺(無(wú)油泵)

.空壓機***臺（靜音泵）

.管道