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供應無(wú)塵室氣體監視器

價(jià)  格：詢(xún)價(jià)

產(chǎn)  地：更新時(shí)間：2021-01-19 13:24

品  牌：型  號：供應無(wú)塵室氣體監視器

狀  態(tài)：正常點(diǎn)擊量：1098

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關(guān)鍵字： 無(wú)塵室氣體監視器,日本橫河
隨著(zhù)大規模集成電路的發(fā)展，從無(wú)塵室中清除酸堿性氣體或顆粒等氣體污染物就成為***個(gè)很重要的課題。
    在***個(gè)64-Mbit的集成電路處理中，設計要求微粒直徑為0.25mm甚至更小。
    在這里用到了化學(xué)增強光學(xué)電阻，而這種電阻產(chǎn)生的揮發(fā)堿顆粒，如氨質(zhì)子等，會(huì )導致零件的失效。
    于是，為了保證正常生產(chǎn)就需要將堿性顆粒的濃度保持在1mg/m3以下。
   
    該系統為了能夠高敏感度測量酸堿氣體使用了擴散吸取式采樣器。
    該擴散吸取式采樣器吸收液體中的酸堿氣體后，再將其用離子色譜進(jìn)行分析。
    還有多通道型（16點(diǎn)）選配件供選擇。
   
    兩種型號:CM501，主要測量堿性氣體;CM502，主要測量酸性氣體（氧化物、磷酸、SO2等）。
 


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