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美國OAI 458用于高強度步進(jìn)式晶片曝光機的紫外線(xiàn)高強度和能量計

價(jià)  格:詢(xún)價(jià)

產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-01-19 10:32

品  牌:型  號:OAI 458

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 美***OAI公司458型紫外光度計
用于高強度步進(jìn)式晶片曝光機的紫外線(xiàn)高強度和能量計

基于微處理器的458型紫外線(xiàn)光強和能量系統準確地測量曝光能量(劑量),以評估步進(jìn)器的性能。它設計用于A(yíng)SML高強度、佳能、尼康和超技術(shù)高強度晶片步進(jìn)器。讀取365、400、420和436 nm波長(cháng)的強度、能量和時(shí)間(4000 mW/cm²、999.9 mJ/cm²)??蛇x的RS232電纜可與458軟件***起工作,將測量數據發(fā)送到計算機。

應用

458型非常適合各種需要精確測量紫外線(xiàn)能量的行業(yè),適用于任何需要重復、可靠的紫外線(xiàn)測量的應用。特別適合于芯片生產(chǎn)中的需要。

硬件特點(diǎn):

平均至多9次曝光

數字顯示提供清晰、NIST可追蹤的測量結果

測量強度、時(shí)間和能量

記錄***系列曝光的偏差百分比

探針波長(cháng)顯示有助于防止設置錯誤

簡(jiǎn)單的按鈕操作提供可靠的結果

下載并記錄分析儀測量結果的RS 232輸出

可拆卸探針,以匹配許多光敏電阻的光譜響應。

顯示讀數可能凍結

前面板提醒提示用戶(hù)

堅固的鋁制外殼,手柄和探針袋方便攜帶

 

備注:365、400、420和436 nm傳感器根據自己的需要選擇***個(gè)要單獨購買(mǎi);R-232線(xiàn)纜(只有購買(mǎi)線(xiàn)纜,才可進(jìn)行數據下載)也要單獨購買(mǎi)。
     主機和探頭定期(1-2年)進(jìn)行校準,目前只能返廠(chǎng)校準,有費用產(chǎn)生。

產(chǎn)品參數


產(chǎn)品介紹




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