微位移測量激光干涉儀ZLM800
價(jià) 格：詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-01-19 09:17
品 牌：型 號：
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2913
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產(chǎn)品功能
ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于各種平臺和部件的微位測量、各種擺鏡角度變化量的監測、運動(dòng)平臺位移量和角度變化的檢測、光刻機幾何量的測量、數控機床幾何量的測量等，*多可實(shí)現六軸聯(lián)動(dòng)。也可通過(guò)位移+偏擺+俯仰的三角關(guān)系測量檢測物體的振動(dòng)變化。
性能優(yōu)勢 技術(shù)參數
| 型號：ZLM800 | 使用高性能PCI或單片機式數據處理器 |
| He-Ne激光平均波長(cháng)： | 632.8 nm |
| 激光穩頻精度： | ***小時(shí)2x10-9（±0.002ppm） 壽命內2x10-8（±0.02ppm） |
| 系統精度（0-40℃時(shí)）： | ±0.4ppm |
| 光束直徑： | 6mm （可選3.2mm） |
| 激光管突發(fā)輸出功率： | 5mW （激光等***2） |
| 每束光可測量的軸數： | *多6個(gè) |
| 線(xiàn)性測量距離： | 2m |
| 角度測量范圍： | ± 3.5＇ |
| 速度： | 2m/s |
| 加速： | 無(wú)限制 |
| 采樣頻率： | 內部1MHz，外部40MHz |
| 預熱時(shí)間： | 10分鐘 |
| 位移測量分辨率： | 1.25nm |
| 位移測量精度： | ±0.4ppm （μ/m） |
| 角度測量分辨率： | 0.003μrad |
| 角度測量精度： | ±0.1ppm實(shí)測值 |
| 數據接口： | 積分信號
32 Bit （實(shí)時(shí)時(shí)間）
Dt » 20 ns |
| 數據分析標準： | ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
| 工作環(huán)境： | 溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無(wú)冷凝 |
| 儲存環(huán)境： | 溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無(wú)冷凝 |
應用案例
l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶(hù)注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區別，眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩定。世界范圍內只有兩***雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德***耶拿爾公司是其中的******。
l 全部部件皆在德***生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方******進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上******將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l 激光器壽命更長(cháng)，可達20000小時(shí)，激光穩頻精度高，***小時(shí)內為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內可達±0.02ppm。
l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統精度更高，可達±0.4ppm。
l 計算機輔助光路調整，調整結果更準確。
l 采樣頻率更快，達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。
l 被測物體速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數據處理器，分辨率達0.6nm（當移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線(xiàn)性分辨率更可高達為0.1nm）。
l 無(wú)加速度限制；當光線(xiàn)微弱時(shí)，性能也十分穩定。
l 信號延時(shí)<200ns；對電磁干擾不敏感。
l 對于多軸聯(lián)動(dòng)的復雜光路測量和微位移測量，ZLM800型是理想的選擇。
以下是為中***科學(xué)院某項目設計的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個(gè)應用案例。在個(gè)案例中，用兩個(gè)3軸角度干涉儀分別監視兩個(gè)擺鏡的擺動(dòng)，實(shí)時(shí)測試兩個(gè)擺鏡對應量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況。在第二個(gè)案例中，用***個(gè)3軸角度干涉儀來(lái)測試擺鏡的鏡面擺動(dòng)情況，2個(gè)單軸位移干涉儀檢測***個(gè)兩軸位移平臺的運動(dòng)情況。
下述案例是為***內某研究所某項目設計的ZLM800測量系統。用戶(hù)預先把被測物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀(guān)察窗口。所需要測量的數據是被監視目標Ⅰ、被監視目標Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個(gè)目標在Z方向的相對變化量。
ZLM800部分光路圖示例
從X、Y和Z方向同時(shí)測量被測物體的位移，其中X和Y在***個(gè)水平層面上
從X、Y和Z方向同時(shí)測量被測物體的位移，其中X和Y不在***個(gè)水平層面上
在水平方向同時(shí)測量出被測物體的位移、偏擺和俯仰角度變化（上圖）
在垂直方向同時(shí)測量出被測物體的位移、偏擺和俯仰角度變化（上圖）
同時(shí)從X和Y方向測量被測物體的位移變化（上圖）
同時(shí)從X和Y方向測量運動(dòng)平臺兩個(gè)層面的位移變化（上圖）
同時(shí)從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的角度的變化（1）
同時(shí)從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的變化（2）
同時(shí)從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的變化（3）
資料下載
復雜光路測量的應用.pdf
系統應用簡(jiǎn)介.pdf
如果用戶(hù)有更復雜的光路需求，歡迎來(lái)電垂詢(xún)！
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