雙頻激光干涉儀ZLM700
價(jià) 格：詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-01-19 09:17
品 牌：型 號：
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：1133
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產(chǎn)品功能
定位精度、重復定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線(xiàn)性度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角、角速度、圓形軌跡、微振動(dòng)測量，還能夠測量數控機床回轉臺的定位精度和重復定位精度等，從而實(shí)現定位、校準、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統的校準和測量，廣泛應用于高速動(dòng)態(tài)加工工藝中的機械定位和系統控制。
性能優(yōu)勢
l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶(hù)注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區別。眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩定。世界范圍內只有兩***雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德***耶拿爾公司是其中的******。
l 全部部件皆在德***生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方******進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上******將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l 測量系統采用模塊化設計，各種測量功能之間互不影響。若用戶(hù)先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測量直線(xiàn)度），則僅采購所需功能部分的光學(xué)部件（直線(xiàn)度光學(xué)鏡），其他不需要的功能暫時(shí)可以不采購；若后期有其他功能的需求，補充采購功能對應的部件即可。
l 激光器壽命更長(cháng)，可達20000小時(shí)，激光穩頻精度高，***小時(shí)內為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內可達±0.02ppm。
l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統精度更高，可達±0.4ppm。
l 計算機輔助光路調整，調整結果更準確。
l 采樣頻率更快，達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。
l 被測物體速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數據處理器，分辨率達0.6nm（當移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線(xiàn)性分辨率更可高達為0.1nm）。
l 無(wú)加速度限制；當光線(xiàn)微弱時(shí)，性能也十分穩定。
l 信號延時(shí)<200ns；對電磁干擾不敏感。
l 對于多軸聯(lián)動(dòng)的復雜光路測量和微位移測量，請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，*多可實(shí)現六軸聯(lián)動(dòng)。
工作原理
型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠對高速物體進(jìn)行測量，不會(huì )出現干擾誤差，信號延時(shí)時(shí)間極短。
采用光纖電纜，把來(lái)自干涉鏡的信號傳輸到計算機卡槽連接的電子計數器上，避免了外部電磁環(huán)境對測量信號的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標準化實(shí)驗室和高真空環(huán)境。 技術(shù)參數
| 型號：ZLM700 | 使用高性能數據處理器AE950 PCI |
| He-Ne激光平均波長(cháng)： | 632.8 nm |
| 激光穩頻精度： | ***小時(shí)2x10-9（±0.002ppm） 壽命內2x10-8（±0.02ppm） |
| 系統精度（0-40℃時(shí)）： | ±0.4ppm |
| 光束直徑： | 6mm （可選3.2mm） |
| 激光管突發(fā)輸出功率： | 1mW （激光等***2） |
| 每束光可測量的軸數： | 1 |
| 線(xiàn)性測量距離： | 40m，可擴展為120m |
| 角度測量范圍： | ± 15°，20m軸線(xiàn)范圍 |
| 平面度測量范圍： | 20m行程 |
| 直線(xiàn)度測量范圍： | ± 5mm，2m或10m行程， 選用角度干涉儀可測30m行程 |
| 垂直度測量范圍： | ± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀 |
| 速度： | 4m/s，可選16m/s 80rad/s，角速度 |
| 加速： | 無(wú)限制 |
| 采樣頻率： | 內部1MHz，外部40MHz |
| 預熱時(shí)間： | 10分鐘 |
| 精度/非線(xiàn)性： | ±0.3nm （角隅反射鏡） ±0.1nm （平面反射鏡） |
| 距離測量分辨率： | 0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選 |
| 距離測量精度： （20°±0.5°） 使用AUK時(shí) （20°±0.5°） 真空中時(shí) | ±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m） |
| 線(xiàn)性度測量分辨率： | 0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選 |
| 線(xiàn)性度測量精度： （20°±0.5°） 使用AUK時(shí) （20°±0.5°） 真空中時(shí) | ±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m） |
| 速度測量精度： | ±0.5ppm實(shí)測值 |
| 角度測量分辨率： | 0.015μrad （3x10-3 弧秒） |
| 角度測量精度： | ±0.1ppm實(shí)測值 |
| 平面度測量分辨率： | 0.015μrad （3x10-3 弧秒） |
| 平面度測量精度： | ±0.2%實(shí)測值 ±0.05 弧度/米運行距離 |
| 直線(xiàn)度測量分辨率： | 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
| 直線(xiàn)度測量精度： | ±0.5%實(shí)測值，2m行程 ± 2.5%實(shí)測值，10m行程 |
| 垂直度測量分辨率： | 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
| 垂直度測量精度： | ±0.5%實(shí)測值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%實(shí)測值10m，± 0.5弧秒* |
| 數據接口： | 積分信號
32 Bit （實(shí)時(shí)時(shí)間）
Dt » 20 ns |
| 數據分析標準： | ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
| 工作環(huán)境： | 溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無(wú)冷凝 |
| 儲存環(huán)境： | 溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無(wú)冷凝 |
應用光路圖
以上為直線(xiàn)度測量示意圖，包括水平方向直線(xiàn)度和垂直方向直線(xiàn)度
以上是平面度測量示意圖
以上是垂直度測量示意圖
以上是位移、線(xiàn)性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖
以上是對角測量示意圖
以上是俯仰角測量示意圖
以上是偏擺角測量示意圖
以上是滾動(dòng)角測量示意圖
以上是回轉臺定位精度測量示意圖
資料下載
耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本（中文）.pdf
激光干涉儀說(shuō)明書(shū)（中文）.pdf
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
