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 激光干涉儀是激光在計量領(lǐng)域中*成功的應用，利用光的干涉實(shí)現測量，具有非接觸、無(wú)損檢測的特點(diǎn)，在不同領(lǐng)域都有極為廣泛的應用，如利用F-P干涉儀和半導體激光二極管測量大型精密離心靜態(tài)臂長(cháng)；利用電子散斑干涉技術(shù)實(shí)現物體表面微小形變的非接觸式測量、李永干涉合成孔徑雷達實(shí)現對地表變形進(jìn)行測量；利用相干梯度敏感干涉測量技術(shù)對靜態(tài)斷裂現象的測量；利用非共面多光束干涉可以在空間形成二維或三維周期性強度分布，從而被用來(lái)制作二維或三維光子晶體；利用全息干涉技術(shù)可用于位移及形變測量、應變與應力分析、缺陷或損傷探測、振動(dòng)模式可視化及測量、晶體和蛋白質(zhì)生長(cháng)過(guò)程監測、流體中密度場(chǎng)和熱對流場(chǎng)的觀(guān)察與測量、以及光學(xué)材料與器件的參數測量等。

    本文簡(jiǎn)要介紹***下激光干涉儀在如下幾個(gè)領(lǐng)域的應用情況。

    1. 位移傳感器

    激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應用已成為***大發(fā)展趨勢，其特點(diǎn)是測量精度快、反應速度快、易于數字化測量。在測量中設計***個(gè)精密導軌，將反射鏡同被測傳感器放在***起同步檢測，從而形成對比，位移傳感器自動(dòng)檢定系統與HP干涉儀對定位移進(jìn)行測試對比，得出往復測試實(shí)驗結果。
         

    2. 數控機床檢定中的應用

    隨著(zhù)數控機床應用的普及，采用激光干涉儀對數控機床進(jìn)行定位精度檢測已經(jīng)成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機床、大規模集成電路加工設備等在線(xiàn)位置測量、誤差修正和控制，其中雙頻激光干涉儀應用*多。與傳統的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時(shí)處理數據，為機床誤差修正提供依據，位置精度是機床的重要指標，目前各***機床檢定標準中都推薦使用激光干涉儀。雙頻激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統測量手段難以實(shí)現和替代的。

    未來(lái)，激光干涉儀可從光源、探測器、信號處理系統、光學(xué)系統等方面進(jìn)行發(fā)展，從測量數據的可靠性、精確性，以及測量儀器的便攜性等，不斷改善激光干涉儀的各項性能。

    深圳市中圖儀器科技有限公司激光干涉儀為機床校準帶來(lái)前所未有的高效率，全新系統設計能滿(mǎn)足顧客更高的要求，這款產(chǎn)品，可以測量線(xiàn)性、直線(xiàn)度、俯仰角、偏擺角、滾動(dòng)角。

SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數：

技術(shù)線(xiàn)性測長(cháng)精度：±0.5ppm(0~40℃)

激光穩頻精度：0.05ppm

分辨率：0.001um