激光干涉儀是激光的應用，它以激光波長(cháng)為已知長(cháng)度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長(cháng)度測量。激光干涉儀除了可以用來(lái)測量長(cháng)度以外，如果配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線(xiàn)性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
1960年，Maiman研制成功臺紅寶石激光器，從此，激光干涉測量被廣泛地用于長(cháng)度、角度、微觀(guān)形貌、轉速、光譜等領(lǐng)域，并和微電子技術(shù)、計算機技術(shù)集成，成為現代干涉儀。
1982年，G·Binning和Rohere研制成功掃描隧道顯微鏡，1986年發(fā)明原子力顯微鏡，1986年獲得諾貝爾獎，從此開(kāi)始了干涉儀向納米、亞納米分辨率和精度前進(jìn)的新時(shí)代。
由于激光具有極好的時(shí)間相干性，因此，據此研發(fā)了多種激光干涉儀，包括單頻激光干涉儀、雙頻干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅干涉儀、X射線(xiàn)干涉儀等。
深圳市中圖儀器科技有限公司于2015年上半年在***內推出高性能重大產(chǎn)品——SJ6000激光干涉儀。此款儀器在第十四屆中***機床展上***次亮相后，便備受業(yè)內人士的關(guān)注，相信對激光干涉測量技術(shù)的發(fā)展有著(zhù)積極的推動(dòng)作用。
SJ6000激光干涉儀顯著(zhù)特點(diǎn)
1.測量精度高、速度快，穩定性好
①使用美***高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)
②以光波長(cháng)(633nm)為測量單位，分辨率可達nm***
③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達到4m/s。
④配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應用范圍廣
①可以實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩定度等分析
③可實(shí)時(shí)監控精密加工機床等機器的動(dòng)態(tài)數據，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當前熱門(mén)的軟件界面開(kāi)發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。
②將靜態(tài)測量和動(dòng)態(tài)測量?jì)煞N功能合并到***個(gè)軟件中，更方便用戶(hù)切換測量類(lèi)型。
③向導式操作，流程清晰，更符合***內用戶(hù)的使用習慣。
4 性?xún)r(jià)比高
性能達到了***外儀器的水準，價(jià)格是***內儀器的良心價(jià)。
四.sj6000激光干涉儀技術(shù)參數
技術(shù)線(xiàn)性測長(cháng)精度：±0.5ppm(0~40℃)
激光穩頻精度：0.05ppm
分辨率：0.001um
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
