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SJ6000采用美***進(jìn)口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、 幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術(shù)，實(shí)現各種參數的高精度測量。通過(guò)激光熱穩頻控制技術(shù)，實(shí)現快速(5~10 分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過(guò)高精度激光 干涉信號處理系統得到干涉數據，將數據通過(guò)計算機進(jìn)行顯示和動(dòng)態(tài)分析。

使用時(shí)，操作者先按照設計的幾何光路安裝相配合的鏡組，幾何光路是以邁克爾遜型激光干涉儀原理為基礎設計的，下圖是邁克爾遜干涉儀的基本原理圖：

邁克爾遜干涉儀的原理是***束入射光分為兩束后各自被對應的平面鏡反射回來(lái)，這兩束光從而能 夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過(guò)調整干涉臂長(cháng)度以及改變介質(zhì)的折射率來(lái)實(shí)現，從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點(diǎn)的軌跡，因此，要 分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣，必求出相干光的光程差位置分布函數。

搭建好幾何光路后，在檢定軟件上設定測量的開(kāi)始、結束位置，點(diǎn)擊“開(kāi)始”按鈕，軟件界面會(huì )實(shí)時(shí)顯示測量所得動(dòng)態(tài)數據；掃描結束后，操作者可通過(guò)對測量所得 數據曲線(xiàn)進(jìn)行分析，得到如長(cháng)度、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等參數。并根據系統內置的檢測標準對被測件的各項參數進(jìn)行合格判定，檢測結束后自動(dòng)生成檢定 結果。