SR300 光譜反射薄膜厚度測量系統
價(jià) 格:詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地:更新時(shí)間:2021-01-18 19:43
品 牌:型 號:SR300
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:1654
400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司
電 話(huà):
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傳 真:
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配送方式:
上海自提或三方快遞
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系統配置:
· 型號:SR300
· 探測器: 2048像素的CCD線(xiàn)陣列
· 光源:高穩定性、長(cháng)壽命的鹵素燈
· 光傳送方式:光纖
· 臺架平臺:特殊處理鋁合金,能夠很容易的調節樣品重量、200mmx200mm的大小
· 通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連
· 測量類(lèi)型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
· 電腦硬件要求:P3以上、50 MB的空間
· 電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
· 保修:***年的整機及零備件保修
規格:
· 波長(cháng)范圍:400到1100 nm
· 光斑尺寸:500μm至5mm
· 樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
· 基板尺寸:*多可至50毫米厚
· 測量厚度范圍*:20nm〜50μm
· 測量時(shí)間:*快2毫秒
· 精確度*:優(yōu)于0.5%(通過(guò)使用相同的光學(xué)常數,讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較)
· 重復性誤差*:小于1 Ǻ