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MSP500 顯微分光光度計

價(jià)  格:詢(xún)價(jià)

產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-01-18 19:26

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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基本功能

1,針對微小區域測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數

 

2,實(shí)現薄膜均勻性檢測

 

3,寬光譜范圍同時(shí)有效滿(mǎn)足材料分析、探測等應用

產(chǎn)品特點(diǎn)

l  強大的數據運算處理功能及材料NK數據庫;

l  簡(jiǎn)便、易行的可視化測試界面,可根據用戶(hù)需求設置不同的參數;

l  實(shí)現微小區域薄膜分析研究;

l  快捷、準確、穩定的參數測試;

l  支持多功能配件集成以及定制;

l  支持不同水平的用戶(hù)控制模式;

l  支持多功能模擬計算等等。

系統配置

型號:MSP500RTMF

雙探測器系統:2048像素的CCD陣列用于UV-Vis,InGaAs陣列用于NIR

光源:高功率的DUV和可見(jiàn)光光源

自動(dòng)的臺架平臺:特殊處理的鋁合金操作平臺,手動(dòng)調節移動(dòng)范圍為100mm×75mm

焦距:螺桿控制的自動(dòng)調焦

物鏡有著(zhù)長(cháng)焦點(diǎn)距離:4×、10×、15× 、50×(包括***個(gè)DUV物鏡)通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連

軟件:帶有全自動(dòng)成像功能和2D/3D圖形輸出的TFProbe 2.2VM版本的軟件。

測量類(lèi)型:反射/透射光譜、薄膜厚度/反射光譜和特性尺寸

計算機硬件:英特兒酷睿2雙核處理器,19”LCD顯示器

電源:110–240V AC/50-60Hz,3A

尺寸:16’x16’x18’ (操作桌面設置)

重量:120磅總重      保修:***年的整機及零備件保修

規格

波長(cháng)范圍:250nm到1700 nm

波長(cháng)分辨率: 1nm

光斑尺寸:100µm (4x), 40µm (10x), 30µm (15x), 8µm (50x)

基片尺寸:*多可至20mm

測量厚度范圍: 20Å 到25 µm

測量時(shí)間:*快2毫秒

精確度*:優(yōu)于0.5%(通過(guò)使用相同的光學(xué)常數,讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較)

重復性誤差*:小于2 Ǻ

可選配件項

l  波長(cháng)可擴展到遠DUV或者長(cháng)NIR范圍(~2500nm)

l  可根據客戶(hù)的特殊需求來(lái)定制

l  在動(dòng)態(tài)實(shí)驗研究時(shí),可根據需要對平臺進(jìn)行加熱或致冷

l  可選擇的平臺尺寸*多可測量300mm大小尺寸的樣品

l  更高的波長(cháng)范圍的分辨率可低至0.1nm

l  各種濾光片可供各種特殊的需求

l  可添加應用于熒光測量的附件

l  可添加用于拉曼應用的附件

l  可添加用于偏光應用的附件

應用領(lǐng)域

主要應用于透光薄膜分析類(lèi)領(lǐng)域:

l  玻璃鍍膜領(lǐng)域(LowE、太陽(yáng)能…)

l  半導體制造(PR,Oxide, Nitride…)

l  液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)

l  光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

l  半導體化合物

l  在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜

l  非晶體,納米材料和結晶硅

 

 


產(chǎn)品參數


產(chǎn)品介紹




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