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SENTECH ALD實(shí)時(shí)監測儀是***種新型的光學(xué)診斷工具，是心靈超高分辨率的單***ALD循環(huán)。在不破壞真空的條件下分析薄膜特性(生長(cháng)速率，厚度，折射率)，在短時(shí)間內開(kāi)發(fā)新工藝、實(shí)時(shí)研究ALD循環(huán)中的反應機理是SENTECH ALD實(shí)時(shí)監測儀的主要應用。

ALD實(shí)時(shí)監測儀的優(yōu)勢

工藝開(kāi)發(fā)與優(yōu)化

使用單***ALD循環(huán)可快速和簡(jiǎn)易地開(kāi)發(fā)和優(yōu)化ALD工藝。ALD實(shí)時(shí)監測儀顯示了高達40ms分辨率的吸附和解吸過(guò)程。顯著(zhù)節省了研發(fā)時(shí)間，襯底，前驅體和氣體。

節省前驅體

通過(guò)ALD實(shí)時(shí)監測儀，ALD工藝變得更加有效。節省了前驅體和工藝時(shí)間。

前驅體控制

當前驅體供應快要用盡時(shí)，ALD實(shí)時(shí)監測儀會(huì )立即檢測到的每個(gè)周期的增長(cháng)變化。

SENTECH ALD實(shí)時(shí)監測儀是***種新型的光學(xué)診斷工具，是心靈超高分辨率的單***ALD循環(huán)。在不破壞真空的條件下分析薄膜特性(生長(cháng)速率，厚度，折射率)，在短時(shí)間內開(kāi)發(fā)新工藝、實(shí)時(shí)研究ALD循環(huán)中的反應機理是SENTECH ALD實(shí)時(shí)監測儀的主要應用。

創(chuàng )新的ALD實(shí)時(shí)監測儀是特別為快速和有效的工藝開(kāi)發(fā)而設計，可優(yōu)化SENTECH原子層沉積設備。該軟件使SENTECH ALD系統和ALD實(shí)時(shí)監測儀易于操作。ALD實(shí)時(shí)監測儀完全集成到SENTECH ALD系統軟件中，確保操作簡(jiǎn)單。