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工作原理： 

它是用激光入射掃描樣品表面，收集反射信號得到樣品表面的三維形貌和特征。

SCALA 掃描式激光分析儀 

SCALA掃描式激光分析儀是模塊式的。包括***個(gè)光學(xué)掃描器，安裝于溫度濕度都可控的腔室里?；九渲每蓪?shí)現二維輪廓的靜態(tài)特征，及通過(guò)熱噪聲和單點(diǎn)測量來(lái)確定的諧振頻率。除了基本配置，SCALA還可配備如下三個(gè)工作模塊：

動(dòng)態(tài)模塊

動(dòng)態(tài)模塊可以測量任何振動(dòng)器件的全譜響應，無(wú)論是依靠熱激勵或者是外力激勵（壓電驅動(dòng)）。SCALA同時(shí)能提供機械振動(dòng)的實(shí)時(shí)成像。如:機械傳感器的動(dòng)態(tài)特性可以用***個(gè)簡(jiǎn)單且用戶(hù)友好的方式測得。

液體測量模塊

SCALA 可以靜態(tài)或者動(dòng)態(tài)地表征處于液體環(huán)境中的MEMS傳感器。測量腔的大小可根據用戶(hù)要求定制。PEEK液體樣品池設有液體進(jìn)口和出口可以通過(guò)您選擇的外部傳輸系統實(shí)現液體的流動(dòng)

(3D)三維成像模塊

利用激光掃描功能，可測量反射率和在z軸方向亞納米精度的三維表面形貌圖。

SCALA掃描式激光分析儀特點(diǎn)： 

靜態(tài)和動(dòng)態(tài)都可測量
非接觸式測量，可測液體環(huán)境下的物質(zhì)，且靜態(tài)和動(dòng)態(tài)都可測量
不需要特別的反射率，對于幾乎透明的材料都能獲得很好的測量結果，如SU8膠。
可專(zhuān)門(mén)針對研究納米機械傳感器，如懸臂梁，橋，薄膜等
無(wú)需聚焦得到圖像，可測不平度比較大的表面。
基于Labview的專(zhuān)用用戶(hù)友好性軟件
基于反射強度模式識別算法的TRACKER技術(shù)讓表征變得簡(jiǎn)單

與AMF對比：

Z方向與AFM***樣，都能獲得亞納米分辨率

在水平方向的分辨率不如AFM，SCALA只能達到微米分辨率，但可測大面積樣片

與輪廓儀對比：

輪廓儀測不了動(dòng)態(tài)特性及液體環(huán)境，且它需要高反射率。

與白光干涉儀對比：

白光干涉儀測量快，分辨率高，但得不到動(dòng)態(tài)特性，當樣品表面不平度比較大時(shí)，白光干涉儀無(wú)法聚焦。SCALA無(wú)需聚焦，可測大面積樣片。

與振動(dòng)計對比：

振動(dòng)計只用于測動(dòng)態(tài)特性，且他們必須人工來(lái)找到每個(gè)器件（如每個(gè)懸臂梁），SCALA自動(dòng)找到器件，且能測量的頻率很高，可達1MHz，SCALA動(dòng)態(tài)靜態(tài)特性都能測。

傳感測試原理

懸臂梁是目前人們正在研發(fā)的典型MEMS傳感器。工作模式可以是靜態(tài)（偏轉）模式：在懸臂梁***側產(chǎn)生非平衡表面應力就可以得到***個(gè)可測的向上或向下的偏轉信號，或者是動(dòng)態(tài)（諧振）模式：通過(guò)增加懸臂梁質(zhì)量來(lái)改變懸臂梁的諧振頻率從而產(chǎn)生***個(gè)可測的相位移?；趹冶哿旱钠骷呀?jīng)被用于探測氣體，化學(xué)、生物體的高靈敏度多功能傳感器。

TRACKER技術(shù)

表面特性或MEMS器件的定位和表征（如懸臂或者橋式傳感器）可以通過(guò)TRACKER輕松獲得，這是***種基于反射強度模式識別的算法。用戶(hù)可以利用SCALA的這***功能來(lái)全自動(dòng)表征單個(gè)傳感器或者傳感器陣列。這種算法可以識別商用或者自制的機械傳感器。

SCALA 掃描式激光分析儀應用領(lǐng)域: 

潛在用戶(hù) 

• 學(xué)術(shù)界：研究中心和大學(xué)

• MEMS研究

• 生物傳感器：癌癥檢測，DNA， 氣體探測和標記

• 大分子特性：聚合物的特征

• MEMS，NEMS和納米傳感器加工：質(zhì)量控制和器件的設計過(guò)程