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臺式薄膜探針?lè )瓷鋬x FTPadv

FTPadv是***種具有成本效益的臺式反射膜厚儀解決方案，它具有非?？焖俚暮穸葴y量。在100毫秒以?xún)冗M(jìn)行測量，其精度低于0.3nm，膜厚范圍在50 nm -25 µm。為了便于分光反射測量操作，該儀器包括了范圍廣泛的預定配方。

簡(jiǎn)易的膜厚測量

通過(guò)選擇合適的配方，FTPadv反射儀以小于100ms的測量速度、精度小于0.3nm、厚度范圍為50nm-25μm的精度進(jìn)行厚度測量。

獨特的自動(dòng)建模

通過(guò)測量反射光譜和光譜數據庫的比較，將測量誤差減到很小。

光譜橢偏SE為基礎的材料數據庫

基于SENTECH精確的橢偏光譜測量的大型材料庫為測量新材料的光學(xué)常數提供了配方。

應用

二十年來(lái)，SENTECH已經(jīng)成功地銷(xiāo)售了用于各種應用的薄膜厚度探針FTPadv。這種臺式反射儀的特點(diǎn)是不管在低溫或高溫下，在工業(yè)或研發(fā)環(huán)境中，都能通過(guò)遠程或直接控制，對小樣品或大樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)或在線(xiàn)厚度測量。

臺式反射儀FTPadv精確、可重復地測量反射和透明襯底上透明和弱吸收膜的厚度和折射率。FTPadv可以結合在顯微鏡上，或者配備有穩定的光源，用于測量厚度達到25 µm (根據要求可更厚)的膜層。更具備了從SENTECH光譜橢偏儀經(jīng)驗中受益的預定義的、經(jīng)由客戶(hù)驗證的、以及隨時(shí)可以使用的應用程序的廣泛數據庫。

FTPadv的特征在于對來(lái)自疊層樣品的任何膜層的厚度進(jìn)行測量，使得FTPadv成為膜厚測量的理想成本效益的解決方案。用于工藝控制的FTPadv包括具有采樣器的光纖束、具有鹵素燈的穩定光源以及FTP光學(xué)控制站。局域網(wǎng)連接到PC允許了遠程控制的FTPadv在工業(yè)應用，如惡劣環(huán)境，特殊保護空間或大型機械。

反射儀FTPadv帶有大量預定義的配方，例如半導體上的介質(zhì)膜、半導體膜、硅上的聚合物、透明襯底上的膜、金屬襯底上的膜等等。獨特的自動(dòng)建模特性允許通過(guò)與光譜庫的快速比較來(lái)檢測樣本類(lèi)型。該反射儀將操作誤差減到很小。用光學(xué)反射法測量膜厚從未如此容易。

SENTECH FTPadv菜單驅動(dòng)的操作軟件允許單層和疊層結構的厚度測量，具有極好的操作指導。此外，它還具有強大的分析工具和出色的報告輸出功能。附加的自動(dòng)掃描軟件可用于控制電動(dòng)樣品臺。將軟件升***到用于反射測量的高***分析的軟件包FTPadv EXPERT，即可應用于具有未知或不恒定光學(xué)特性的材料。因此，單層薄膜厚度測量以及折射率和消光系數分析是可實(shí)現的。

SENTECH FTPadv菜單驅動(dòng)的操作軟件允許單層和疊層結構的厚度測量，具有極好的操作指導。此外，它還具有強大的分析工具和出色的報告輸出功能。附加的自動(dòng)掃描軟件可用于控制電動(dòng)樣品臺。將軟件升***到用于反射測量的高***分析的軟件包FTPadv EXPERT，即可應用于具有未知或不恒定光學(xué)特性的材料。因此，單層薄膜厚度測量以及折射率和消光系數分析是可實(shí)現的。