在線(xiàn)壽命和電阻率逐行掃描儀
價(jià) 格:詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地:更新時(shí)間:2021-01-18 19:07
品 牌:型 號:MDPinlinescan
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:1045
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MDPinlinescan在線(xiàn)壽命和電阻率逐行掃描儀
各種不同的樣品,從單晶硅到多晶硅,從生長(cháng)的晶片到加工過(guò)的晶片,都可以通過(guò)MDPlinescan使用少子壽命測量進(jìn)行檢測。硬件系統被靈活地安裝來(lái)執行樣本的逐行掃描。該軟件接口便于與處理系統或自動(dòng)化系統進(jìn)行簡(jiǎn)單的連接和通信。
MDPlinescan被設計成***個(gè)易于集成的OEM單元,用于集成到各種自動(dòng)化檢測上。關(guān)鍵測量是少子壽命掃描。樣品通常由測量探頭下面的傳送帶或機器人系統傳送。應用實(shí)例范圍從磚塊到晶片檢查,測量速度小于每晶片***秒。電池生產(chǎn)線(xiàn)的進(jìn)料質(zhì)量調查是常見(jiàn)的應用案例,以及在鈍化和擴散之后的工藝質(zhì)量檢查,在許多其他的專(zhuān)業(yè)應用領(lǐng)域也有很大的可能性。只需要集成以太網(wǎng)連接和電源就可以了。包括附加電阻率測量選項。
優(yōu)勢
。在µ-PCD或穩態(tài)激發(fā)條件下測量少子壽命和電阻率線(xiàn)掃描是該儀器設計的重點(diǎn)。
。集成OEM單元的生產(chǎn),用于多晶或單晶硅晶片在不同工藝階段直至器件、磚塊或錠子的生產(chǎn)線(xiàn)的整合。
。小尺寸和標準自動(dòng)化接口易于集成。重點(diǎn)在于測量結果的長(cháng)期可靠性和精密度。
MDPinlinescan line life and resistivity scanner line by line
A wide variety of samples, from monocrystalline to polycrystalline silicon, from grown to processed wafers, can be tested using MDPlinescan with a measure of the number of young children.The hardware system is flexibly installed to perform a line-by-line scan of the sample.The software interface facilitates simple connection and communication with processing or automation systems.