德***Sentech激動(dòng)掃描系統 MDPpro

少子壽命測量儀器的特征在于以1mm分辨率對500mm的***個(gè)面在不到4分鐘內完成掃描。電阻率和少子壽命的測量完全無(wú)觸摸。利用微波檢測光電導率(MDP)同時(shí)測量少子壽命、光電導率、電阻率和p/n導電類(lèi)型的變化。

MPDPro設計用于對電特性進(jìn)行分析，在四分鐘的測量時(shí)間內，對1毫米分辨率，500毫米磚磚(或晶片)自動(dòng)掃描。進(jìn)行完全非接觸測量。

MDPpro系列具有快速、靈活，自動(dòng)掃描多晶硅磚和晶片的穩固設計。同時(shí)測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度，所有測量圖形同時(shí)繪制。這個(gè)儀器的設置非常簡(jiǎn)單，僅需要電源。測量必要性包括了工作站與數據庫。樣品裝載可以手動(dòng)或由自動(dòng)系統來(lái)完成。在1mm分辨率下，156x 156 x 400 mm標準磚的測量速度小于4分鐘。電阻率自動(dòng)掃描選項具有長(cháng)時(shí)間穩定性而無(wú)需頻繁重新校準。用于參考測量的校準庫也是可用的。由于偏析和預期摻雜類(lèi)型的過(guò)補償導致的導電類(lèi)型轉換的空間分辨測量可以以高空間分辨率來(lái)研究。

該儀器被設計用于工藝和材料的質(zhì)量監控，例如單晶或多晶硅。多晶硅磚切割標準的自動(dòng)輸出。能夠根據爐子的輸出質(zhì)量進(jìn)行單獨的爐子監控進(jìn)行優(yōu)化和決定投資。MDPpro是多晶硅磚生產(chǎn)商以及爐子技術(shù)生產(chǎn)商的標準儀器。

優(yōu)勢

• 脫機或晶圓的整體工具系列。少子壽命、光電導率、電阻率、p/n導電類(lèi)型變化和幾何樣品平整度的同時(shí)自動(dòng)掃描。
• 對于156x 156 x 400 mm標準磚，測量速度小于4分鐘，分辨率為1mm，所有5幅測量圖形同時(shí)繪制。
• 堅固耐用的設計和易于設置的性能。對于安裝，僅需要電源。帶有數據庫的工作站包含在下面的隔間中。