自動(dòng)掃描薄膜測量儀器SenSol

 

SenSol是SENTECH光伏產(chǎn)品組合中的自動(dòng)大面積掃描儀器。自動(dòng)表征膜厚、薄層電阻、霧度、反射和透射的均勻性。使用SenSol，可以監測大型玻璃基板上的沉積過(guò)程的均勻性，從而可以顯著(zhù)減少儀器維護后重新開(kāi)始生產(chǎn)的時(shí)間。

 

整體表面分析

SenSol自動(dòng)掃描系統是為薄膜測量設計的，在面板上的每個(gè)位置，特別是在邊緣都可以進(jìn)行測量。

 

TCO自動(dòng)掃描

TCO可以研究厚度的均勻性、薄層電阻、光譜分辨的霧度H(λ)、反射R(λ)和透射T(λ)。

 
 

工藝優(yōu)化

新的沉積工藝或清洗后的沉積設備的運行時(shí)間顯著(zhù)減少。

 

SenSol自動(dòng)掃描儀器設計用于玻璃薄膜光伏制造中薄膜性能的質(zhì)量控制的在線(xiàn)測量。大量的傳感器可以集成到SenSol傳感器平臺中。這也允許特定的工藝監測，提供補償工藝中出現的差異。

 

瑞士Oerlikon Solar公司是光伏薄膜測量設備的供應商，也是SENTECH的主要參考客戶(hù)，通過(guò)SenSol的工藝監測確保了優(yōu)異的生產(chǎn)效果。

 

SENTECH易于使用，面向配方的SenSol自動(dòng)掃描軟件為制造商主計算機提供了靈活和定制的接口，以及客戶(hù)特定的薄膜測量結果的圖形表示。