薄膜反射和透射的在線(xiàn)監測系統 RT Inline

 

反射率、透射率和膜厚的高速在線(xiàn)測量是RT Inline的設計特點(diǎn)。傳感器頭陣列掃描薄膜在大型玻璃基板上的反射和/或透射，作為內部參考測量。利用FTPadv Expert軟件可以方便地進(jìn)行層沉積過(guò)程的在線(xiàn)監測。軟件接口可用于與主機的數據通信。

 

高速薄膜測量

借鑒內部參考技術(shù)，不需要在單獨的位置上進(jìn)行外部參考測量。這保證了連續多點(diǎn)薄膜測量的速度。

 

多探頭裝置

多達7個(gè)傳感器探頭由***個(gè)控制器驅動(dòng)，為均勻性監測提供了具有成本效益的解決方案。

 

SENTECH軟件

易于使用、基于配方的FTP軟件包括***個(gè)大型的預定義應用數據庫，這些應用符合研發(fā)以及生產(chǎn)環(huán)境中的質(zhì)量控制要求。

 

RT inline 薄膜測量系統是為沉積過(guò)程的在線(xiàn)質(zhì)量控制而設計的。該方法基于SENTECH***的薄膜厚度探針FTPadv，用于測量反射率和薄膜厚度。它分別工作在420～1050 nm、2000～2500 nm的光譜范圍內?？梢苑治龉饣图y理結構的TCO薄膜、CdS薄膜、a-Si、µ-Si、CIGS和CdTe吸收膜。

 

通過(guò)RT inline，可以無(wú)損傷地監測大型玻璃基板或塑料線(xiàn)圈上TCO、吸收層和緩沖層沉積的均勻性。薄膜厚度和反射率測量是通過(guò)固定安裝的傳感器探頭在玻璃基板上方從沉積設備傳送到下***個(gè)工藝期間進(jìn)行的。

 

***個(gè)控制器可以操作多達7個(gè)傳感器，使得RT inline測量儀器具有成本效益、靈活性和生產(chǎn)性的結果。選配的超聲傳感器控制探頭和玻璃平臺之間的距離，以排除錯誤的測量結果。

 

SENTECH配方驅動(dòng)的FTP軟件FTPadv Expert包括預定義的即用應用程序綜合包。它提供了***個(gè)選配的軟件接口，用于將數據從測量儀器傳輸到主機。因此，可以通過(guò)來(lái)自主機或傳送的信號手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行薄膜測量。

 

使用SENTECH SENresearch光譜橢偏儀開(kāi)發(fā)的配方可以直接傳輸到RT inline中?；谶@樣的光譜數據，甚至可以在線(xiàn)測量復雜的層疊膜。

 

 

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上***個(gè)：MDPinline 光伏測量?jì)x器