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●采用雙重閉環(huán)運動(dòng)控制,電機在高速運動(dòng)時(shí)具有精確的定位性能。
●采用本公司開(kāi)發(fā)的嵌入式模塊控制電機,提高了電機響應速度,還簡(jiǎn)化了儀器與PC機的接口,PC機與儀器USB線(xiàn)與S端子線(xiàn)連接。
●采用花崗巖平臺,外觀(guān)簡(jiǎn)潔大方。
●表面光由獨立24組光源組成,每***組均為恒流源驅動(dòng),200極連績(jì)可調
●配有我公司專(zhuān)用M2D-CNC軟件,大大提高測量效率。
技術(shù)參數
工作臺 金屬臺尺寸(mm) 450*280
玻璃臺尺寸(mm) 306*196
運動(dòng)行程(mm) 250×150  
Z軸升降行程(mm) 150(調焦)
  X、Y、Z軸數顯分辨率                           0.0005mm
  X、Y坐標示值誤差(μm):          ≤(3+L/75)
電機  三軸運動(dòng)速度  100mm/s 
三維定位精度  0.001mm
影像系統 攝影機( 日本原裝 ) 雙焦物鏡倍率: 0.7~4.5×
視頻總倍率:  30~190x  物方視場(chǎng): 10.6~1.6mm
雙焦物鏡倍率:0.7~4.5X 視頻總倍率:30~190X

 


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