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浸沒(méi)式肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍

電子槍和低像差聚光鏡的優(yōu)化組合，實(shí)現了更高的亮度，能有效采集電子槍中發(fā)射的電子，即使在低加速電壓下也能獲得數 pA～數10 nA 探針電流，保持*小的物鏡光闌就可以進(jìn)行納米尺寸的高分辨率觀(guān)察、快速元素面分布及EBSD分析。

利用GBSH觀(guān)察樣品表面

以前的GB※模式經(jīng)過(guò)改進(jìn)后，可以對樣品施加更高的電壓，這樣在低加速電壓下也能獲得超高分辨率的圖像。從樣品的淺表面觀(guān)察到納米尺寸的元素分析，GBSH能根據各種不同的應用選擇加速電壓。

※Gentle Beam(GB) 通過(guò)給樣品加以偏壓(GB)，對入射電子有減速、對釋放出的電子有加速作用。

通過(guò)柔和光束觀(guān)察樣品的淺表面

給樣品加以偏壓(GB)，對入射電子有減速、對釋放出的電子有加速作用。即使入射電子束到達樣品時(shí)的能量很低，也可以獲得高分辨率、高信噪比的圖像。如果利用能施加更高偏壓的GB模式，用數十電子伏能量的入射電子束，就可以進(jìn)行更高分辨率的觀(guān)察。

通過(guò)多個(gè)檢測器獲取樣品的所有信息

JSM-7800FPRIME配有四種檢測器：高位檢測器(UED) 、高位二次電子檢測器(USD)、背散射電子檢測器(BED)和低位檢測器(LED)。UED過(guò)濾器的電壓不同，二次電子和背散射電子的數量會(huì )改變，因此可以選擇電子的能量，USD檢測被過(guò)濾器彈回的低能量電子，BED通過(guò)檢測低角度的背散射電子，能清楚地觀(guān)察通道襯度。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的、富有立體感的圖像。

注：該儀器未取得中華人民共和***醫療器械注冊證，不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途