電子光學(xué)
• Elstar 超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描鏡筒，配有：
– 浸沒(méi)式電磁物鏡
– 高穩定性的肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)糜谔峁┓€定高分辨率分析電流
• SmartAlign：自動(dòng)合軸技術(shù)
• 帶極靴保護的 60 度雙物鏡透鏡，支持傾斜較大的樣品
• 自動(dòng)加熱式光闌，可確保清潔和無(wú)接觸式更換光闌孔
• 靜電掃描，提高偏轉線(xiàn)性度和速度
• Thermo Scientific™ ConstantPower™ 透鏡技術(shù)，獲得更高熱穩定性
• 集成快速電子束閘*
• 電子束減速，樣品臺偏壓 0 V 到 -4 kV*
• 電子源壽命至少 12 個(gè)月
電子束分辨率
• 在*佳工作距離下：
– 30 kV 下STEM 0.6 nm
– 15 kV 下 0.6 nm
– 1 kV 下 1.0 nm
– 1 kV 下 0.9 nm (電子束減速模式) *
• 在束重合點(diǎn)：
– 15 kV 下 0.6 nm
– 1 kV 下 1.5 nm(電子束減速模式 * 及 DBS 探測器*）
電子束參數
• 電子束流范圍：0.8 pA - 176 nA
• 加速電壓范圍：200 V - 30 kV
• 著(zhù)陸能量范圍： 20 eV * - 30 keV
• 水平視場(chǎng)寬度：4 mm 工作距離下為 2.3 mm離子光學(xué)
Tomahawk HT 離子鏡筒，卓越的大束流性能
• 離子束流范圍：1 pA – 100 nA
• 加速電壓范圍：500 V - 30 kV
• 兩***差分抽吸
• 飛行時(shí)間（TOF）校準
• 15 孔光闌
• 水平視場(chǎng)寬度：在束重合點(diǎn)處為 0.9 mm
• 離子源壽命至少 1,000 小時(shí)
離子束分辨率（在重合點(diǎn)處）
– 30 kV下 4.0 nm（采用統計方法）
– 30 kV下 2.5 nm（采用選邊法）
探測器
• Elstar 透鏡內 SE/BSE 探測系統（TLD-SE、TLD-BSE）
• Elstar 鏡筒內 SE/BSE 探測系統（ICD） *
• Elstar 鏡筒內 BSE 探測系統（MD） *
• Everhart-Thornley 二次電子探測器（ETD）
• 樣品室紅外 CCD 相機，用于樣品臺高度觀(guān)察
• 高性能電子及離子探測器（ICE），用于采集二次電子和二次離子*
• 樣品室內 Nav-Cam 相機，用于樣品導航 *
• 可伸縮式低電壓、高襯度、定向固態(tài)背散射電子探測器（DBS）*
• 可伸縮 STEM 3+ 分割式探測器(BF、DF、HAADF) *
• 集成電子束流測量
樣品臺和樣品
高度靈活的五軸電動(dòng)樣品臺：
• XY 范圍：110 mm
• Z 范圍：65 mm
• 旋轉：360°（連續）
• 傾斜范圍：-15° 到 +90°
• 樣品高度：與優(yōu)中心點(diǎn)間隔 85 mm
• 樣品質(zhì)量：任意位置處為 500 g（包括樣品托）；0°傾斜時(shí)可達 5kg；
• 樣品尺寸：可沿 X、Y 軸完全旋轉時(shí)直徑為 110mm（若樣品超出此限值，則樣品臺行程和旋轉會(huì )受限）
• 同心旋轉和傾斜
真空系統
• 完全無(wú)油的真空系統
• 樣品倉真空（高真空）：< 2.6 x 10-6 mbar（24小時(shí)抽氣后）
• 抽氣時(shí)間：< 5 分鐘樣品倉
• 電子束和離子束重合點(diǎn)在分析工作距離處（ 4 mm SEM ）
• 端口：21 個(gè)
• 內寬：379 mm
• 集成等離子清洗
樣品托
• 標準多功能樣品托，以獨特方式直接安裝到樣品臺上，可容納 18 個(gè)標準樣品托架（φ12 mm）、3 個(gè)預傾斜樣品托、2 個(gè)垂直和2 個(gè)預傾斜側排托架（38° 和 90°），樣品安裝無(wú)需工具
• Vise 樣品托可夾持不規則、大或中的樣品到樣品臺上
• 各種晶片和定制化樣品托可按要求提供*
圖像處理器
• 駐留時(shí)間范圍：25 納秒 – 25 毫秒/像素
• 65000× 65000 像素
• 文件類(lèi)型：TIFF (8 位、16 位、24 位)、BMP 或 JPEG 標配
• SmartSCAN™ (256 幀平均或積分、線(xiàn)積分和平均法、跨行掃描)
• DCFI (漂移補償幀積分)
系統控制
• 64 位 GUI（Windows® 10,）、鍵盤(pán)、光學(xué)鼠標
• 可同時(shí)激活多達 4 個(gè)視圖，分別顯示不同束圖像和/或信號，真彩信號混合
• 本地語(yǔ)言支持：請與當地 Thermo Fisher 銷(xiāo)售代表聯(lián)系確認可用語(yǔ)言包
• 兩臺 24 英寸寬屏顯示器 1920 x 1200，用于系統GUI和全屏圖像觀(guān)察
• 顯微鏡控制和支持計算機無(wú)縫共享***套鍵盤(pán)、鼠標和顯示器
• Joystick 操縱桿*
• 多功能控制板*
• 遠程控制和成像*
支持軟件
• “Beam per view”圖形用戶(hù)界面，可同步激活多達4 個(gè)視圖
• Thermo Scientific™ SPI™（同步FIB加工和SEM成像）、iSPI™（間歇式SEM成像和FIB加工）、iRTM™（集成化實(shí)施監測）和 FIB 浸入模式，用于高***、實(shí)時(shí)SEM和FIB過(guò)程監測和端點(diǎn)測量
• 支持的圖形：直線(xiàn)、矩形、多邊形、圓形、圓環(huán)、截面、清潔截面
• 直接導入BMP文件或流文件進(jìn)行三維刻蝕和沉積
• 材料文件支持“*短循環(huán)時(shí)間”、束調諧和獨立重疊
• 圖像配準支持導入圖像進(jìn)行樣品導航
• 光學(xué)圖像上的樣品導航配件*
• GIS（氣體注入系統）解決方案：
– 單個(gè)GIS：多達 5 個(gè)獨立單元，用于增強蝕刻或沉積
– Thermo Scientific™ MultiChem™：在同***單元上有多達 6 種化學(xué)選項，用于蝕刻和沉積控制
• GIS – 束化學(xué)選項**
– 鉑沉積
– 鎢沉積
– 碳沉積
– 絕緣體沉積II
– 金沉積
– Thermo Scientific™ Enhanced Etch™ （碘、）
– 絕緣體優(yōu)化的蝕刻(XeF2)
– Thermo Scientific™ Delineation Etch™ （）
– 選擇性碳刻蝕（）
– 空坩堝，用于經(jīng)批準的用戶(hù)提供的材料
– 更多束化學(xué)選項可按要求提供
• Thermo Scientific™ EasyLift™ 系統用于精確原位樣品操縱
• FIB 荷電中和器
• 分析：EDS、EBSD、WDS
• Thermo Scientific™ QuickLoader™ ：快速真空進(jìn)樣器
• 獨有的Thermo Scientific™ CryoMAT™ 用于材料科學(xué)冷凍應用
• 第三方供應商提供的冷凍解決方案
• Thermo Scientific™ 隔音罩
• Thermo Scientific™ CyroCleaner™ 系統
軟件選項*
• Thermo Scientific™ AutoTEM™ 軟件，用于自動(dòng)化 S/TEM 制樣
• Thermo Scientific™ AutoScript™ 4 軟件，雙束自動(dòng)化套件
• Thermo Scientific™ Maps™ 軟件，用于大區域的自動(dòng)圖像采集、拼接和關(guān)聯(lián)
• Thermo Scientific™ NanoBuilder™ 系統：基于CAD (GDSII) 的專(zhuān)有解決方案，用于復雜結構FIB 和束沉積優(yōu)化的納米原型制備
• AS&V4 軟件：自動(dòng)化連續刻蝕和觀(guān)察，采集連續切片圖像、EDS 或EBSD 圖像進(jìn)行三維重建
• Avizo 三維重建及分析軟件
• CAD 導航
• 基于 Web 的數據庫軟件
• 高***圖像分析軟件
Thermo Scientific Helios 5 D ualBeam 產(chǎn)品系列憑借其的聚焦離子束和電子束性能、專(zhuān)有軟件、自動(dòng)化和易用性特征，重新定義了樣品制備和三維表征的標準。
Thermo Scientifc™ Helios™ 5 CX DualBeam 系統屬于業(yè)界的 Helios DualBeam 系列的第五代產(chǎn)品，專(zhuān)為滿(mǎn)足科學(xué)***和工程師的各類(lèi)分析及研究需求而設計，它將創(chuàng )新的 Thermo Scientific™ Elstar™ 電子鏡筒和卓越的 Thermo Scientifc™ Tomahawk™ 離子鏡筒有機結合，前者可實(shí)現極高分辨率成像和材料襯度，而后者可實(shí)現*快速、*簡(jiǎn)單、*精確的高質(zhì)量樣品制備。系統不僅配置的電子和離子光學(xué)系統，還采用了***系列的技術(shù)，可實(shí)現簡(jiǎn)單***致的高分辨率 S/TEM 和原子探針斷層掃描（APT）樣品制備，以及質(zhì)量的內部和三維表征，即使在*具挑戰性的樣品上也表現出色。
質(zhì)量、超薄 TEM 制樣
科學(xué)***和工程師不斷面臨新的挑戰，需要對具有更小特征的日益復雜的樣品進(jìn)行高度局部化表征。Helios 5 CX DualBeam 系統的*新技術(shù)創(chuàng )新結合*易于使用、*全面的 Thermo Scientic 專(zhuān)業(yè)應用知識，可快速輕松地定位制備各類(lèi)材料的高分辨S/TEM樣品。為了獲得高質(zhì)量的結果，需要使用低能離子進(jìn)行精拋，以限度地減少樣品的表面損傷。Tomahawk HT 聚焦離子束（FIB）鏡筒不僅可以在高電壓下進(jìn)行高分辨率成像和刻蝕，而且具有良好的低電壓性能，可以制備高質(zhì)量的 TEM 薄片。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
