
HFM-HLI型可溯源原子力顯微鏡可將原子力探針與白光干涉結合,實(shí)現原子力探針掃描超精密表面微納形貌和結構測量。
1.產(chǎn)品型號:HFM-HLI
2.產(chǎn)地:中***武漢
3.產(chǎn)品介紹:HFM-HLI型可溯源原子力顯微鏡可將原子力探針與白光干涉結合,實(shí)現原子力探針掃描超精密表面微納形貌和結構測量。
4.技術(shù)指標:
型號 指標 | HFM-HLI |
垂直分辨率 (μm) | 1nm |
垂直范圍(mm) | 3μm |
水平分辨率(μm) | 2nm |
水平范圍(mm2) | 50μmw50μm |
5.應用實(shí)例
(1)107.3±2nm NT-MDT TGZ標準納米樣板測試結果

(2)517.5±2.5nm NT-MDT TGZ標準納米樣板測試結果

(3)光刻二維光柵表面測量結果


型號 指標 | HFM-HLI |
垂直分辨率 (μm) | 1nm |
垂直范圍(mm) | 3μm |
水平分辨率(μm) | 2nm |
水平范圍(mm2) | 50μmw50μm |



武漢紅星楊科技有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)“紅星楊科技”)是致力于光機產(chǎn)品制造商和系統解決方案提供商的創(chuàng )新型企業(yè)。
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