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      nGauge原子力顯微鏡作為世界上臺單芯片（Single-Chip）AFM，是加拿大滑鐵盧大學(xué)(DARPA聯(lián)合項目)近十年的研發(fā)成果。Single-Chip技術(shù)通過(guò)CMOSMEMS工藝將AFM的所有組件（精細XYZ運動(dòng)和納米***感測）集成到單個(gè)1mm x 1 mm的芯片上，減少了對大功率及垂直檢測激光對準設備的需求，極大提升了設備自身的抗震性能、掃描速率、掃描精度，實(shí)現經(jīng)濟、高效、便捷的原子力掃描。

nGauge原子力顯微鏡應用于材料科學(xué)、生物學(xué)、物理學(xué)、數據儲存、半導體、高分子聚合物等領(lǐng)域的納米科學(xué)研究。nGauge也不斷致力于SMM、SThM等新技術(shù)的研發(fā)。

nGauge應用原理

   傳統AFM通常使用硅懸臂上有尖銳尖端的探針。激光束映射到懸臂的背面第四象限光電探測器上，用來(lái)測量任何懸臂的微小位移。當壓電XY平面光柵在X和Y軸掃描樣品時(shí)，壓電的Z掃描器控制探針高度。

sc-AFM（Single-Chip AFM）幾乎以與傳統AFM極其相近的方式運行，不同的是它所有的組成部件都整合在***個(gè)薄片上。薄片是用世界上的制造程序來(lái)制造出的***個(gè)微小的MEMS驅動(dòng)，在***個(gè)1*1mm的硅片上的超精密的掃描器和傳感器。sc-AFM包括懸臂和尖銳尖端，整合的壓電傳感器替代激光來(lái)測量尖端位移。針尖和傳感器依附于MEMS掃描器上，且可以在XYZ軸定位，完成次納米***測量。

nGauge產(chǎn)品參數

nGauge圖像表征

nGauge AFM 可以在諸多領(lǐng)域進(jìn)行成像，覆蓋了生命科學(xué)、半導體材料、有機高分子等在內的許多學(xué)科。以下是本產(chǎn)品對不同樣品的表征結果

芯片（Single-Chip）

   AFM的芯片是***種cms - mems器件，大小約1.2 x0.8x0.3 mm，它包括***些電熱執行器，***個(gè)帶有尖端的懸臂，以及測量尖端偏轉的壓電式應變傳感器。傳動(dòng)裝置是雙晶型和V型執行機構的組合，由電阻式加熱器提供動(dòng)力，并通過(guò)彎曲的方式將其與三自由度和亞納米精度的尖端相連接。在XY方向上分別有兩個(gè)執行器互相作為熱耦合的補償來(lái)保證這兩個(gè)方向的平穩，*終針尖能夠探測足夠的精確的Z方向的高度。