超精密原子力顯微鏡
Park NX20
缺陷分析的*佳選擇
作為***款缺陷形貌分析的精密測量?jì)x器，其主要目的是對樣品進(jìn)行缺陷檢測。
而儀器所提供的數據不能允許任何錯誤的存在。Park NX20，這款全球*精密
的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著(zhù)出色的數據準確性，在半導體和超平樣品行
業(yè)中大受贊揚。
*強大全面的分析功能
具備的功能，可快速幫助客戶(hù)找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助
客戶(hù)制定出更多具有創(chuàng )意的解決方案。無(wú)與倫比的精密度為您帶來(lái)高分辨率數
據，讓您能夠更加專(zhuān)注于工作。與此同時(shí)，真正非接觸掃描模式讓探針尖端更耐用，無(wú)需為頻繁更換探針而耗費大量的時(shí)間和金錢(qián)。
即便是次接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作
ParkNX20擁有業(yè)界*為便捷的設計和自動(dòng)界面，讓你在使用時(shí)無(wú)需花費大量
的時(shí)間和精力，也不用為此而時(shí)時(shí)不停的指導初學(xué)者。借助這***系列特點(diǎn)，您
可以更加專(zhuān)注于解決更為重大的問(wèn)題，并為客戶(hù)提供及時(shí)且富有洞察力的失效
分析報告。
Park Nx 20
創(chuàng )新工作的創(chuàng )新特征
為FA和研究實(shí)驗室提供***的形貌測量解決方案
■缺陷檢查成像和分析
■高分辨率電子掃描模式
■對樣品和基片進(jìn)行表面粗糙度測量
■樣品側壁三維結構測量
低噪音Z探測器可精確測量AFM表面形貌
■非接觸模式，降低針尖磨損，減少換探針時(shí)間
■非接觸模式下的快速缺陷成像
■業(yè)內的三維結構測量的解耦XY掃瞄系統
■通過(guò)使用熱匹配的組件，盡量減少系統漂移和遲滯現象
低噪聲Z探測器可精確測量AFM表面形貌
■業(yè)界的低噪聲Z檢測器測量樣品表面形貌
■沒(méi)有過(guò)沿過(guò)沖和壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌
■即使是高速掃描也可以保持精確的表面高度
■行業(yè)的前向和后向掃描間隙橫向漂移小于0.15%
用真正的非接觸掃描方式節省成本
■在***般用途和缺陷成像中，具有普通掃描模式10倍或更長(cháng)的針尖使用壽命
■減少針尖的尖端摩損
■*真實(shí)的再現樣品微觀(guān)三維形貌，減少樣品在掃描過(guò)程中的損壞或變形
Park NX20
AFM技術(shù)
行業(yè)的低噪聲Z軸探測器
超低噪聲Z探測器，噪音水平低于0.02nm，從而達成非常***樣品形貌成像，
沒(méi)有邊沿過(guò)沖無(wú)須校準。 NX20為您提供好的數據同時(shí)也為您節省寶貴的時(shí)間
真正非接觸模式TM可保護針尖鋒利度
原子力顯微鏡的針尖本身很脆弱，在掃描過(guò)程中，針尖磨損會(huì )逐漸降圖片質(zhì)量和分辨率。
測量表面軟的樣品時(shí)，針尖也會(huì )破壞樣品并生成不準確的樣品高度測量數據。
作為Park原子力顯微鏡*獨特的***種掃描模式，
真正非接觸模式TM可持續獲得高分辨率且精確的數據，同時(shí)保持針尖的完整性。
Park NX20
凝聚著(zhù)*具創(chuàng )新的AFM技術(shù)
100 μm x μm掃描范圍的XY平板掃描器
XY平板掃描器，采用壓電堆棧設計，減少傳統掃描過(guò)程中XY的正交影響
，具有高速的影響頻率，實(shí)現精確的樣品奈米***掃描。
高速Z軸掃描器，掃描范圍達15μm
高強度壓電堆棧和饒性設計，標準Z軸掃描器的共振頻率大于9kHz(***般為10.5kHz)且探針的Z軸掃描速率不低于48mm/秒。 Z軸掃描范圍可從標準的15μm擴展至30μm(長(cháng)范圍Z掃描頭)。
低噪聲XYZ位置傳感器
低噪聲XYZ閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。
集成編碼器的XY自動(dòng)樣品載品
編碼器可用于所有自動(dòng)樣品載臺，并可保證更高的重復定位精度，
從而可更精確地控制樣品測量位置。
XY馬達動(dòng)工作時(shí)分辨率為1μm，重復率為2μm。
Z馬達運動(dòng)的分辨率為0.1μm，重復率為1μm。
自動(dòng)多點(diǎn)樣品掃描
借助驅動(dòng)樣品臺，可編程步進(jìn)掃描，多區域成像，
以下是它的工作流程：
1.掃描成像
2.抬起懸臂
3.移動(dòng)驅動(dòng)平臺到設定位置
4.進(jìn)針
5.重新設定位置掃描成像
該自動(dòng)化功能大大減少掃描過(guò)程中人工的移動(dòng)樣品，從而縮短測試時(shí)間，提高生產(chǎn)率。
操作方便的樣品臺
獨特的頭部設計，可使用從側面操作樣品及探針，
根據所選擇樣品臺的行程范圍，用品在樣品臺上可放置的樣品直徑200mm。
用于拓展掃描模式易插拔擴展槽
你只需要將可選模塊插入擴展槽，便可激活拓展掃描顯微鏡模式。
得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊化設計，其產(chǎn)品線(xiàn)的配置兼容性大大提高
同軸高功率光學(xué)集成LED照明和CCD系統
定致物鏡配有超長(cháng)工作距離(50mm,0.21的數值孔徑，1.0μm的分辨率)，帶來(lái)前所未有的鏡頭清晰度。同軸光源設計讓用戶(hù)可輕易地在樣品表面找尋找測試區域，物鏡*小分辨率為0.7μm。得益于CCD的高端傳感器，在獲得較大視場(chǎng)的同時(shí)，但分辨率卻不受影響。由軟件控制的LED光源能為樣品表面提供足夠的照明，便于清晰觀(guān)察樣品。
掃描頭滑動(dòng)嵌入式設計
你只需滑動(dòng)嵌入燕尾導執便可輕松更換原子力顯微鏡掃描頭。
該設計可將掃描頭自動(dòng)鎖定至預對準的位置，無(wú)須調節激光位置，
激光自動(dòng)投射在針尖上。借助于鄉優(yōu)異的四象限檢測器，
顯微鏡可精確成像并可準確測定力，距離曲線(xiàn)。
自動(dòng)Z軸移動(dòng)和聚焦系統
高度限行Z軸移動(dòng)和聚焦系統，可以得到清晰的視野和圖像，用戶(hù)通過(guò)軟件界面進(jìn)行操作，
由高精度步進(jìn)電機驅動(dòng)，即使液體或者透明樣品也可快速找到樣品表面。
高速24位數字電子控制器
所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進(jìn)行控制和處理。
該控制器是個(gè)全數字，24位高速控制器，可確保True Non-ContactTM模式下的成像精度和速度。憑借著(zhù)低噪音設計和高速處理單元，該控制器也是納米成象和精確電壓、電流測量的絕佳選擇。嵌入式數字信號處理為原子力顯微鏡帶來(lái)更為豐富的功能，更好的解決方式，是***研究員的*佳選擇。
XY.Z軸檢測器的24位信號分辨率
■XY軸的*小分辨率為0.003nm (50 μm XY掃描器)
■Z軸的*小分辨率為0.001nm (50 μm Z掃描器)
嵌入式數字信號處理功能
■三個(gè)鎖相放大器
■探針彈簧系數校準(熱方法)
■數字化Q控制
集成式信號端口
■專(zhuān)用可編程信號輸入/輸出端口
■7個(gè)輸入端口和3個(gè)輸出端口
Park NX 20
世界上****和*容易操作的AFM
簡(jiǎn)單的探針和樣品更換
獨有的設計讓您輕易地用手從側面更換新的探針和樣品。
借助安裝懸臂式探針夾頭中于預先校準的探針位置，無(wú)須再進(jìn)行繁瑣的激光調節工作。
帶有兩***反饋系統的閉環(huán)XY掃描器
XY掃平板掃描器的每個(gè)軸上的低噪聲位移傳應器，
可以在進(jìn)行大掃描范圍時(shí)提高樣本掃描正交性。
次***傳感器會(huì )對非線(xiàn)性和非平面位置錯誤進(jìn)行補償，*真實(shí)的還原樣品的形貌。
閃電般快速的自動(dòng)進(jìn)針
自動(dòng)的探針樣品進(jìn)針功能能讓用戶(hù)無(wú)需進(jìn)行干預操作。
通過(guò)監測懸臂接近表面的反應，Park NX20能夠在探針裝載后，十秒內自動(dòng)快速完成探針進(jìn)針操作。高速、軸掃描器的快速信息反饋和NX電子控制器的低噪聲信號處理使得探針無(wú)需用戶(hù)干預就能快速接觸樣品表面。
主動(dòng)溫控隔音罩
專(zhuān)為Park NX20設計的隔音罩，主動(dòng)進(jìn)行溫度調節功能，保證側試環(huán)境在***個(gè)完全穩定的熱環(huán)境中。 Park NX20 還具有主動(dòng)隔振功能，完全與外界的聲、光噪聲隔離，因此測試的準確性將不受到外界干擾。
■操作簡(jiǎn)單-創(chuàng )新的控制設計使Park NX20能夠快速達于溫度平衡
■節省操作時(shí)間-關(guān)閉隔音罩10分鐘內可保持測試環(huán)境低于0.05°C的溫差
Park NX20
可滿(mǎn)足各種測試需求
Park NX20可以滿(mǎn)足科研工作者需要的各種掃描模式，并能滿(mǎn)足您的所有研究需求。
表面粗糙度測量
■真正非接觸模式
■輕敲模式
電學(xué)性能測量
■導電AFM(ULCA和VECA)
■靜電力顯微鏡(EFM)
■壓電力顯微鏡(PFM)
■掃描電容顯微鏡(SCM)
■掃描開(kāi)爾文探針顯微鏡(SKPM)
■掃描電阻顯微鏡(SSRM)
■掃描隧道顯微鏡(STM)
■光電流顯微鏡(Tr-PCM)
機械性能測量
■力調制顯微鏡(FMM)
■力-距離(F-D)曲線(xiàn)
■力譜成像
■側向力顯微鏡(LFM)
■納米壓痕
■納米刻蝕
■相位成像
熱特性
■掃描熱感顯微鏡(SThM)
磁特性
■磁力顯微鏡(MFM)
高***選項
定制你獨有的原子力顯微鏡
自動(dòng)數據收集和分析，適合工業(yè)客戶(hù)產(chǎn)線(xiàn)測量
Park的自動(dòng)化控制軟件，根據你的預設程序，自動(dòng)進(jìn)行AFM測量。它可以準確地收集數據，執行模式識別，并使用它的尋邊器和光學(xué)模塊進(jìn)行分析，不需要人工介入，為您節省測量時(shí)間。
傾斜樣品傾角夾具，可以幫助您進(jìn)行樣品側壁成像
NX20的創(chuàng )新架構讓您可以檢測樣品的側壁和表面，并測量它們的角度。這項設計賦予了這個(gè)單位更深的靈活性，您可以做更多的創(chuàng )新研究和獲得更深的見(jiàn)解。
■傾斜角度：10°、15°和20°
■樣品尺寸：20mm x 20 mm
■樣本厚度：2mm
嵌入主動(dòng)溫度控制的隔音罩可以讓您采取更精確的測量
■創(chuàng )新設計使系統快速達到其溫度平衡
■10分鐘內使測試環(huán)境溫差小于0.05°C
■集成式主動(dòng)減震臺，優(yōu)于老式的氣動(dòng)平臺，減震效果更佳
閉環(huán)控制電動(dòng)位移臺
■XY載臺馬達位移機械分辨為1μm，重復率為2μm
■Z向馬達位移分辨率為0.1μm，重復率為1μm
樣品盤(pán)
■專(zhuān)用芯片樣品盤(pán)
■真空吸附盤(pán)
■200mm晶圓盤(pán)
探針夾具
■固定掃描探針
■可進(jìn)行導電學(xué)性能測試
■針尖電壓：-10V~+10V
XY掃描器 Z掃描器
■20μm x20μm ■15μm
■50μm x50μm ■30μm
■100μm x100μm
精確的溫度控制
■加熱和冷卻臺(0~180°C)
■250°C加熱臺
■600°C加熱臺
Park NX20
技術(shù)參數
掃描器
XY掃描器
閉環(huán)控制XY平板掃描器
掃描范圍：100μm x 100μm
50μm x 50μm
25μm x 25μm
20位位置控制和24位位置傳感器
Z掃描器
導向強力Z掃描器
掃描范圍：15μm
30μm
20位位置控制和24位位置傳感器
視場(chǎng)&CCD
同軸光源設計
10倍光學(xué)物鏡和數碼放大
光學(xué)物鏡視場(chǎng)：840μm x 630μm
CCD：5MP
光學(xué)物鏡
10X(0.21 NA)超長(cháng)工作距離鏡頭的物鏡
20X(0.42 NA)高分辨率，長(cháng)工作距離鏡頭的物鏡
軟件
SmartScan
專(zhuān)用系統控制和數據采***軟件
智能掃描模式
通過(guò)外部程序控制腳本***別(選配)
NXI
AFM數據分析軟件
電性能
信號處理
ADC:18通道
ADC通道(64MSPS)
24-bits ADC的X,Y和Z掃描器位置傳感器
DAC:12通道
ADC通道(64MSPS)
20bits DAC的X,Y和Z掃描器定位
數據量:4096X4096像素
集成功能
3通道數字鎖相放大器
探針彈性系數校準(熱方法)
數據Q控制
外部信號訪(fǎng)問(wèn)
20個(gè)嵌入式舒輸入/舒出口
5個(gè)TTL輸出：EOF,EPL,EOP,Modulation and AC bias
選項/模式
成像模式
■真正非接觸模式
■接觸模式
■側向摩擦力顯微術(shù)(LFM)
■相位成像
■輕敲模式
電學(xué)特性測量
■掃描電容顯微鏡(SCM)
■導電原子力顯微鏡
■靜電力顯微鏡(EFM)
■壓電力顯微鏡(PFM)
■掃描開(kāi)爾文探針顯微鏡(SKPM/KPM)
■壓電力顯微鏡PFM
***般特性
■磁力顯微鏡(MFM)
■掃描熱感顯微鏡(SThM)
■力***距離(F-D)曲線(xiàn)
■掃描隧道顯微鏡(STM)
■力調制顯微鏡(FMN)
■納米壓痕
■納米刻蝕
■納米操控
選項
■樣品基座
■具有溫控性能的隔音罩
■液體探手
■液池
■溫控臺
■外部偏置模塊
■信號獲取模塊
運動(dòng)位移平臺
XY行程范圍：150mm(200mm選配)
Z行程范圍：25mm
XY載臺馬達位移機械分辨率為1μm,重復率為2μm
Z向馬達位移機械分辨率為0.1μm,重復率為1μm
樣品基座
樣品尺寸：150mm(200mm選配)
真空樣品吸附
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
