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原子力顯微鏡AFM

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產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-01-18 15:15

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 它保證了定位的絕對精度在10納米(這比市場(chǎng)上的閉環(huán)原子力顯微鏡的性能好10倍)。
這些突出的特性,再配以APE研究的獨特的軟件工具,使得這款儀器適用于納米光刻。
A100-AFM SGS 配備了彎曲掃描鏡臺,這保證了高平面度使得用戶(hù)可以進(jìn)行大范圍的測量(可以達到100微米)。
APE研發(fā)了原子力顯微鏡的附加工具,這可以用于***些具體的測量模式(如EFM(靜電力顯微鏡),MFM(磁力顯微鏡),Liquid cell(液體池))
我們還和意大利研究院合作研發(fā)其他工具以滿(mǎn)足用戶(hù)可能提出的要求。

A100-SGS AFM
A100-SGS SPM(掃描探針顯微鏡) 鏡臺
掃描鏡臺具有包含張力測量傳感器的獨立定位系統
掃描器技術(shù)資料:
X-Y掃描范圍:
100*100微米(高電壓模式);
10*10微米(低電壓模式)
高電壓模式分辨率:閉環(huán):2nm,開(kāi)環(huán):0.2nm
閉環(huán)線(xiàn)性度:0.1%
Z掃描范圍:10微米(高電壓模式);
1微米(低電壓模式);
分辨率:0.16納米(高電壓模式),
0.02納米(低電壓模式)。
 
AFM Head 適用于接觸模式,非接觸模式,半接觸模式和橫向力模式
AFM Head 具有工業(yè)***的懸臂支架保持器,該保持器可以移動(dòng)(很容易在懸臂上安裝和拆卸),也很容易固定在懸臂上。頭部還具有裝備了激光和光電二極管傳感器的前置放大器。
 
SPMCU2-PI
SPM 控制單元
SPM控制單元和計算機(配別有多輸入輸出主板)驅動(dòng)掃描器,數據采集和采樣運動(dòng)
采樣距離的末端由超低噪聲的模擬反饋控制,該模擬反饋由計算機數字化驅動(dòng)。
該系統的硬件時(shí)鐘是高速的和高精度的
 
HVA3-PI Unit
高電壓放大器
HAV是***種高電壓放大器模塊可以驅動(dòng)A-100 SGS 掃描鏡臺
 
計算機和數據采集板
WindowsXP、Vista 操作系統;奔騰處理器或酷睿2,1G/2GDDR2 SDRAM內存,160G硬盤(pán),DVD光驅?zhuān)I盤(pán)和鼠標,19寸液晶顯示器,采集板和接口。
 
采集軟件
軟件運行是基于窗口的,為了儀器控制和數據采集,還支持多窗口操作。軟件具有簡(jiǎn)易的濾波器可以實(shí)時(shí)分析并獲取圖像。軟件控制了儀器的所有參數。
APE研究的儀器裝備了圖像測量數據分析軟件的基本模塊,另外14項可選的功能也可以獨立的獲得。
輔助
光刻工具
隧道掃描顯微鏡工具
MFM(磁力顯微鏡)工具
EFM(電場(chǎng)力顯微鏡)工具
CAFM(導電原子力顯微鏡)工具
液體池
隔音箱
桌臺

其他可用的模塊


產(chǎn)品參數


產(chǎn)品介紹



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