壓電響應力顯微術(shù) (PFM)
生物材料與鐵電材料等的成像
許多材料的機電耦合行為,如生物基細胞膜和蛋白質(zhì),鐵電和壓電材料從現
在開(kāi)始都可以用壓電響應力顯微鏡來(lái)表征。
這***成像技術(shù)在開(kāi)發(fā)基于鐵電疇變等的新型電子設備方面引起了極大的關(guān)
注,在對將來(lái)電腦存儲等領(lǐng)域的諸多應用方面的發(fā)展有著(zhù)巨大的潛力。
壓電響應力顯微術(shù)是在掃描探針顯微鏡的基礎上,在接觸式掃描過(guò)程中對探
針施加***個(gè)交流電壓,利用材料自身逆壓電效應來(lái)探測樣品表面形變的***類(lèi)技術(shù)
總稱(chēng)(見(jiàn)圖1)。壓電響應力顯微術(shù)已經(jīng)成為鐵電材料研究的重要手段,廣泛應
用于納米尺度疇結構的三維成像、疇結構的動(dòng)態(tài)研究、疇結構控制和微區壓電、
鐵電、漏電等物理性能表征等領(lǐng)域。其的優(yōu)勢就是同時(shí)具有極高的分辨率
(~10-20 nm)和靈敏度(~0.1 pm/V)。