TESCAN LYRA3鎵等離子雙束FIB系統
基于高分辨率肖特基FEG-SEM鏡筒和高性能聚焦離子束鏡筒,LYRA3 FIB-SEM是***款SEM與FIB良好結合的***體化系統,能夠滿(mǎn)足高要求客戶(hù)的需要。
新***代場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(LYRA3)給用戶(hù)帶來(lái)了新的技術(shù)優(yōu)點(diǎn),包括改進(jìn)的高性能電子設備使成像速度更快,包含了靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像扭曲補償技術(shù)的超快掃描系統,內置的編程軟件等,都使LYRA3保持著(zhù)很高的性?xún)r(jià)比。
LYRA3系列的設計適用于各種各樣的SEM應用及當今研究和工業(yè)的需求。大電子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3維斷層掃描等分析應用。借助于高性能軟件,TESCAN的FIB-SEM已成為適合電子束/離子束光刻、TEM樣品制備等應用的強大工具。LYRA3聚焦離子束掃描電子顯微鏡配備了XM與GM兩種樣品室。
現代電子光路
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獨特的大視野光路設計提供各種工作與顯示模式
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以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同“光闌轉換器”
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結合了完善的電子光學(xué)設計軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™),可模擬和優(yōu)化電子束
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全自動(dòng)鏡筒設置與對中
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成像速度很快
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3維電子束技術(shù)提供實(shí)時(shí)立體圖像
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可選的電子束遮沒(méi)裝置提供了電子束光刻技術(shù)
高性能離子光路
聚焦離子束裝置
維修簡(jiǎn)單
只需要很短的停機檢修時(shí)間,就能使得電鏡長(cháng)期保持在優(yōu)化的狀態(tài)。每個(gè)細節設計得非常仔細,使得儀器的效率化,操作*簡(jiǎn)化。
自動(dòng)程序
自動(dòng)設置和許多其他的自動(dòng)化操作是設備的特點(diǎn)。除此之外,電鏡還有樣品臺自動(dòng)導航與自動(dòng)分析 程序,能明顯減少操作員的操作時(shí)間。通過(guò)內置腳本語(yǔ)言 (Python)可進(jìn)入操作軟件的大多數功能,包括顯微鏡控制、樣品臺控制、圖像采集、處理與分析。通過(guò)腳本語(yǔ)言用戶(hù)還可以編程其自己的自動(dòng)操作程序。
用戶(hù)界面友好的軟件與軟件工具
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多用戶(hù)和多語(yǔ)言操作界面
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圖像管理與報告生成
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內置的系統檢查與系統診斷
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網(wǎng)絡(luò )操作與遠程進(jìn)入/診斷
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模塊化的軟件結構
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標準的軟件模塊包括:自動(dòng)離子束控制、電子束寫(xiě)入基本版、同時(shí)的FIB/SEM成像、預定義FIB工作模式等軟件工具
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可選軟件包括了:顆粒度分析標準版/專(zhuān)***版、3維表面重建等模塊
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電子束寫(xiě)入軟件使聚焦離子束掃描電子顯微鏡成為能進(jìn)行電子束曝光、電子束沉積、電子束刻蝕、離子束沉積、離子束減薄的強大工具
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可選的3D Tomography軟件提供使用FIB時(shí)的全自動(dòng)連續SEM圖像,三維重構與三維可視化
TESCAN LYRA3鎵等離子雙束FIB系統(GM)
分析潛力
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高亮度肖特基發(fā)射可獲取高分辨率、高電流和低噪聲的圖像
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可選配超高分辨率的In-Beam二次電子探頭
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獨特的三透鏡大視野觀(guān)察(Wide Field Optics™)設計提供了多種工作模式和顯示模式,體現了TESCAN特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設計
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結合了完善的電子光學(xué)設計軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™)可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化
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成像速度快
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低電壓下的電子束減速模式(Beam Deceleration Technology – BDT),可獲得高分辨率(選配)
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In-Beam背散射電子探頭提供小工作距離下的BSE圖像(選配),甚至適合鐵磁性樣品的分析
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全計算機化優(yōu)中心電動(dòng)載臺設計優(yōu)化了樣品操控
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完美的幾何設計更適合安裝能譜儀(EDX)、波譜儀(WDX)、背散射電子衍射儀(EBSD)
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由于使用了強力的渦淪分子泵和無(wú)油干式真空泵,因而可以快速簡(jiǎn)單的得到干凈的真空樣品室。電子槍的真空由離子泵維持。
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全自動(dòng)設置的顯微鏡包括了電子光路設置和合軸功能
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網(wǎng)絡(luò )操作和內置遠程控制/診斷軟件為標配
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3維電子束技術(shù)提供了實(shí)時(shí)立體圖像
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在低真空模式下樣品室真空可達到500Pa,用于觀(guān)測不導電樣品
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獨特的離子差異泵(2個(gè)離子泵)使得離子散射效應非常低
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聚焦離子束鏡筒內有馬達驅動(dòng)高重復性光闌轉換器
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聚焦離子束的標配包括了電子束遮沒(méi)裝置和法拉第筒
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在高束流下,選配的Cobra聚焦離子束提供了超高的分辨率和卓越的性能
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FIB切割、信號采集、3維重構(斷層攝影術(shù)),3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化
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成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件,圖片的獲取、存檔、處理和分析功能
LYRA3配置
LYRA3 GMH
裝有馬達驅動(dòng)全計算機化優(yōu)中心樣品臺的超大樣品室電鏡,適用于在高真空模式下對導電樣品的分析。
LYRA3 GMU
可變真空式SEM,體現了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)。在低真空模式下可以觀(guān)測不導電的樣品,不需要噴金。
軟件(標配):
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測量
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圖象處理
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3維掃描
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硬度測量
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多圖像校準
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對象區域
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自動(dòng)關(guān)機時(shí)間
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公差
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編程軟件
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定位
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投影面積
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EasySEMTM
軟件(選配):
根據實(shí)際配置和需求
配件:
等,各種配件可供選擇