服務(wù)介紹：SEM/EDX（形貌觀(guān)測、成分分析）掃描電鏡（SEM）可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀(guān)成像。EDX是借助于分析試樣發(fā)出的元素特征X射線(xiàn)波長(cháng)和強度實(shí)現的，根據不同元素特征X射線(xiàn)波長(cháng)的不同來(lái)測定試樣所含的元素。通過(guò)對比不同元素譜線(xiàn)的強度可以測定試樣中元素的含量。通常EDX結合電子顯微鏡（SEM）使用，可以對樣品進(jìn)行微區成分分析。
服務(wù)范圍：軍工，航天，半導體，材料等
服務(wù)內容：1.材料表面形貌分析，微區形貌觀(guān)察
2.材料形狀、大小、表面、斷面、粒徑分布分析
3.薄膜樣品表面形貌觀(guān)察、薄膜粗糙度及膜厚分析
4.納米尺寸量測及標示
5.微區成分定性及定量分析
SEM，EDS，XRD的區別，SEM是掃描電鏡，EDS是掃描電鏡上配搭的*個(gè)用于微區分析成分的配件——能譜儀，是用來(lái)對材料微區成分元素種類(lèi)與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。XRD是X射線(xiàn)衍射儀，是用于物相分析的檢測設備。
SEM用于觀(guān)察標本的表面結構，其工作原理是用*束*細的電子束掃描樣品，在樣品表面激發(fā)出次*電子，次*電子的多少與電子束入射角有關(guān)，也就是說(shuō)與樣 品的表面結構有關(guān)，次*電子由探測體收集，并在那里被閃爍器轉變?yōu)楣庑盘?，再?jīng)光電倍增管和放大器轉變?yōu)殡娦盘杹?lái)控制熒光屏上電子束的強度，顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象，反映了標本的表面結構。
EDS的原理是各種元素具有自己的X射線(xiàn)特征波長(cháng)，特征波長(cháng)的大小則取決于能*躍遷過(guò)程中釋放出的特征能量△E，能譜儀就是利用不同元素X射線(xiàn)光子特征能量不同這*特點(diǎn)來(lái)進(jìn)行成分分析的。
XRD是利用衍射原理，精確測定物質(zhì)的晶體結構,織構及應力,精確的進(jìn)行物相分析，定性分析，定量分析。
說(shuō)簡(jiǎn)單點(diǎn)，SEM是用來(lái)看微觀(guān)形貌的，觀(guān)察表面的形態(tài)、斷口、微裂紋等等；EDS則是檢測元素及其分布，但是H元素不能檢測；XRD觀(guān)察的是組織結構，可以測各個(gè)相的比例、晶體結構等。
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