ZEISS 高分辨電子掃描顯微鏡-EVO 10,具備自動(dòng)化工作流程的高清晰掃描電鏡
提高樣品的成像分辨率，提供更多表面細節信息
EVO 電鏡廣泛應用于材料和生命科學(xué)領(lǐng)域。
在低電壓下，借助電子束減速和高分辨背散射電子成像技術(shù)獲取出色的樣品形貌細節。您還可以在可變環(huán)境條件下實(shí)時(shí)觀(guān)察材料的相互作用，控制樣品
室環(huán)境并實(shí)現含水生物樣品的詳細分析。
借助自動(dòng)化工作流程實(shí)現高效應用。EVO 的 X 射線(xiàn)幾何學(xué)設計能確保在分析工作條件下達到*佳分辨率。
技術(shù)規格
設備主要部件及技術(shù)要求：
該項目的設備必須是全新設備且整體進(jìn)口（包括所有零部件，元器件和附件等），滿(mǎn)足各自的技術(shù)指標和性能，其性能應達到水平，可靠性好，性能穩定，控制精度高，使用、操作和維修方便，售后服務(wù)優(yōu)良，必須在河南地區常駐有售后工程師以方便后期維護。
1、基本要求
1.1 電子光學(xué)系統
1.1.1 發(fā)射源：鎢燈絲；
1.1.2 分辨率：高真空二次電子像 ≤3.0nm @30kV≤8.0nm @3kV低真空背散射電子像 ≤4.0nm（30kV）；
1.1.3 加速電壓范圍：200V－30kV，10V 步進(jìn)連續可調；
1.1.4 放大倍數范圍不小于：7X－1,000,000X，連續可調；
*1.1.5 探針電流范圍：0.5 pA~5μA，連續可調；
*1.1.6 電子束控制模式不少于以下幾種控制模式：分辨率模式、分析模式、大視野模式、大景深模式和魚(yú)眼模式；
*1.1.7 *佳分析工作距離不大于 8.5mm 且*佳分析工作距離下的視野范圍不小于 6mm，普通模式下視野范圍不小于 20mm；
1.2 真空系統
1.2.1 抽真空系統：渦輪分子泵 + 機械泵，不需要冷卻水
1.2.2 樣品室真空度：優(yōu)于優(yōu)于 3 x 10-4 Pa
1.2.3 抽真空時(shí)間：≤3 分鐘
1.3 樣品室及樣品臺
1.3.1 樣品室內部尺寸不小于 310mm（直徑）×220mm（高）；3
*1.3.2 可放置的樣品尺寸和承重：樣品直徑不小于 230mm，高度不小于 100mm，樣品臺承重不小于5kg；
1.3.3 配備探測器：高真空二次電子探測器，背散射電子探測器，樣品室紅外 CCD 攝像裝置
*1.3.4 配置五軸馬達驅動(dòng)樣品臺：樣品臺馬達移動(dòng)范圍：不小于 80mm（X 方向），100mm（Y 方向），35mm（Z 方向），-10°~ 90°（傾斜），360°（旋轉）
1.3.5 樣品臺類(lèi)型：全電動(dòng) 5 軸馬達驅動(dòng)樣品臺，雙軸搖桿操作系統；
1.3.6 樣品臺具有接觸報警與自停功能;
*1.3.7 馬達臺重復精度不低于 2um；
1.4 圖像處理系統
1.4.1 配套計算機系統：不低于 CPU P4 3.0GHz，RAM 512Mb，硬盤(pán) 120Gb，軟盤(pán)驅動(dòng)器 1.44Mb，光盤(pán)刻錄機，24″液晶顯示屏，鍵盤(pán)，鼠標，USB 接口
1.4.2 顯示圖像分辨率：不小于 1024×768 像素
*1.4.3 單幅圖像存儲圖像分辨率：不小于 32k×24k 像素
1.4.4 存儲圖像格式：TIFF、BMP 與 JPEG
1.5 控制系統
1.5.1 配置 Windows 操作系統
1.5.2 配置專(zhuān)業(yè)的電子顯微鏡控制軟件
1.5.3 自動(dòng)功能：自動(dòng)電子槍啟動(dòng)，電子槍自動(dòng)對中，自動(dòng)偏壓調整，自動(dòng)和手動(dòng)聚焦，聚焦補償，動(dòng)態(tài)聚焦，旋轉補償，自動(dòng)消像散，圖像降噪處理。
1.5.4 圖像采集：像素平均、幀平均、幀積分、行平均、行積分；
1.5.5 顯示器：24″高對比度彩色平板顯示器；
1.5.6 顯示方式：全屏顯示、分屏顯示、灰度直方圖、輪廓方式、偽彩色；
1.5.7 圖像注釋與數據區：提供標準數據區和定制數據區，可在圖片上顯示各種電鏡參數和字符。
1.5.8 狀態(tài)菜單：顯示各種工作參數。
1.5.9 測量功能：可對圖像中的形貌進(jìn)行點(diǎn)間距、角度、直徑等測量。
1.6 能譜儀系統
1.6.1 功能：用于材料的微區成分定性、定量分析。
1.6.2 配置電制冷能譜儀，能譜儀窗口面積不小于 30mm2，能量分辨率(600000CPS) Mn-Ka 優(yōu)于129eV；
1.6.3 元素分析范圍：Be4～CF98；
1.6.4 能譜儀處理單元與計算機采用分立式設計，單探測器輸出計數率優(yōu)于 600,000CPS，可處理計數率1,500,000CPS；4
1.6.5 可將電鏡圖像傳輸到能譜儀的顯示器上，并以該圖為中心做微區分析，實(shí)現點(diǎn)、區域定性定量分析，以及線(xiàn)掃描和面分布功能；
1.6.6 系統配置專(zhuān)業(yè)能譜儀數據處理工作站；
1.7 離子濺射儀
1.7.1 玻璃處理室：直徑不小于 100 毫米，高度不小于 130 毫米；
1.7.2 試樣臺尺寸：直徑不小于 40 毫米可同時(shí)放 6 個(gè)樣品杯；
1.7.3 靶尺寸：直徑不小于 58 毫米；
1.7.4 真空系統：直聯(lián)旋片真空泵 1 升/秒；
1.7.5 真空檢測：皮氏計；
1.7.6 真空保護：20Pa 配有微量充氣閥調節工作真空；
1.7.7 工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專(zhuān)用進(jìn)氣口和微量充氣調節；
1.7.8 配置：內置***塊金Z。
2 產(chǎn)品配置要求
為達到上述技術(shù)指標，投標產(chǎn)品應配置必要的硬、軟件。投標產(chǎn)品不低于以下配置：
2.1 掃描電子顯微鏡 1 套；
2.2 RS232 能譜儀智能通訊接口 1 套；
2.3 原裝進(jìn)口電制冷能譜儀 1 套；
2.4 原裝進(jìn)口空氣壓縮機 1 套；
2.5 樣品室內全自動(dòng)控制紅外 CCD 相機 1 套；
2.6 二次電子探測器 1 套，背散射電子探測器 1 套；
2.7 樣品束流檢測器或者束流檢測皮安表 1 套；
2.8 不間斷穩壓電源 1 套；
2.9 碳導電雙面膠帶 2 卷和燈絲 1 盒（10 支）；
更簡(jiǎn)單、更智能、整合性更高
無(wú)與倫比的表面成像能力
您可以在低電壓下利用高分辨背散射電子探測器（HD BSD）實(shí)現具有清晰襯度的表面細節成像。針對電子束敏感樣品或表面形貌分析，電子束減速技術(shù)能夠提高分辨率及增強表面細節信息。成像過(guò)程中的漂移校正有助于進(jìn)***步提高邊緣分辨率。EVO 系列可提供包含高性能 HD 束源在內的三類(lèi)電子束源技術(shù)，通過(guò)組合應用開(kāi)創(chuàng )圖像質(zhì)量全新標準。
智能化成像 – 性能高效
EVO 能夠提高制造和質(zhì)量控制領(lǐng)域的工作效率。試想***下，將典型的工作流程從 400 多步操作簡(jiǎn)化為 15 步，以三種不同的放大倍率在 9 個(gè)樣本上對感興趣的 4 個(gè)點(diǎn)進(jìn)行成像。智能化系統能夠自動(dòng)完成光路對中、調節放大倍率、聚焦和移動(dòng)載物臺 – ***切都為*終的圖像采集，系統會(huì )根據所選的樣品設置*佳成像條件。通過(guò)易于操作的click-stop 按鈕控制鏡筒中間的光闌孔，從而獲得可靠且重復性高的檢測結果。
環(huán)境電子顯微鏡技術(shù)
EVO LS 可在不同溫度、壓力和濕度條件下觀(guān)察生命科學(xué)樣品及材料樣品的納米***信息。使用EVO LS 能獲得細胞、植物和生物在自然水合狀態(tài)下的細節信息。分析材料性能，如耐蝕性、耐熱性及涂鍍性能。EVO LS 全能型環(huán)境掃描電鏡能在高達 3000 Pa 的壓力下獲取高品質(zhì)圖像，輕松完成含水樣品的成像，同時(shí)利用計算機控制環(huán)境條件，以避免出現脫水假象。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
