日本JEOL熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 JSM-7900F
JEOL新***代場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的旗艦機型。 它繼承了上***代廣獲好評的性能如極高的空間分辨率、高穩定性、多種功能等的同時(shí),操作性能極大簡(jiǎn)單化。該設備不依賴(lài)操作者的技能,始終能夠發(fā)揮其*佳性能。

產(chǎn)品規格:
分辨率 | 1.0 nm (0.5 kV) 0.7 nm (1 kV) 0.6 nm (15 kV) 3.0 nm (5 kV、WD: 10 mm、5 nA) |
倍率 | ×10 ~ ×1,000,000 |
加速電壓 | 0.01 ~ 30 kV |
探針電流 | 數 pA ~ 500 nA |
檢測器(標配) | 高位檢測器(UED)、低位檢測器(LED) |
電子槍 | 浸沒(méi)式肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
*佳光闌角控制鏡 | 內置 |
物鏡 | 超***混合式物鏡/SHL |
自動(dòng)功能 | 自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、自動(dòng)調節亮度、自動(dòng)調節襯度 |
大景深模式(LDF) | 內置 |
樣品臺 | 全對中測角樣品臺 |
樣品移動(dòng) | X:70mm Y:50mm Z:2 ~ 41mm 傾斜軸:-5 ~ 70° 旋轉:360° |
馬達驅動(dòng) | 5軸馬達驅動(dòng) |
樣品交換室 | 直徑: 100mm 高度: 40mm |
抽真空系統 | SIP、TMP、RP |
主要特點(diǎn):
◇ Neo Engine(New Electron Optical Engine)
新***代電子光學(xué)控制系統Neo Engine(New Electron Optical Engine),是JEOL電子光學(xué)技術(shù)薈萃的結晶。 它綜合了透鏡控制系統和自動(dòng)化技術(shù),即使改變電子光學(xué)條件,光軸的偏離也極小,大大提高了可操作性及觀(guān)察精度。 無(wú)論是誰(shuí)都可以很簡(jiǎn)便地發(fā)揮出儀器原本的功能。
① 提高了自動(dòng)功能
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樣品 : 用CP 制備的礦物截面(樹(shù)脂包埋) 入射電壓 : 5 kV,檢測器 : RBED,觀(guān)察倍率 : ×100,000
不僅提高了自動(dòng)功能的精度,而且只需要幾秒鐘就可以聚焦。
② 提高了倍率的精度
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樣品 : 測長(cháng)用的樣品(MRS5) 入射電壓 : 10 kV, 觀(guān)察倍率: ×50,000
大幅度地提高了倍率的精度,而且實(shí)現了高精度測長(cháng)。
③ 能量過(guò)濾器更加易用
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樣品 : 名片 入射電壓 : 1.5 kV, 檢測器 : UED, 觀(guān)察倍率 : ×3,500
即使大幅度改變能量過(guò)濾器的設定值,視野或聚焦位置基本不會(huì )偏離。
◇ GBSH-S (GENTLEBEAM™ Super High resolution Stage bias mode)
GBSH 是在低加速電壓下提高分辨率的***種方法。 新開(kāi)發(fā)的GBSH-S可以給樣品臺施加高達5 kV的偏壓。 因此,使用GBSH模式不需要使用專(zhuān)用的樣品桿就可以無(wú)縫過(guò)渡到其他模式。
※GENTLEBEAM™ 通過(guò)給樣品施加偏壓,起到了對入射電子減速,對出射電子加速的作用。
◇ 新型背散射電子檢測器 ※ 選配件
采用新開(kāi)發(fā)的超高靈敏度的背散射電子檢測器,可以在清晰的襯度下進(jìn)行觀(guān)察。 靈敏度比以往的產(chǎn)品提高了很多,特別是在低加速電壓下能得到高襯度的成分像。
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舊機型 新機型
樣品 : Cu的截面 入射電壓 : 3 kV 觀(guān)察倍率 : ×10,000 WD: 4.5 mm
◇ 新型外觀(guān)設計
外觀(guān)設計緊湊,大大節省了安裝空間,可以支持多種安裝環(huán)境。
◇ 新的樣品交換方式
采用新設計的樣品交換系統(load lock),操作簡(jiǎn)單了,不僅減少誤操作還提高了通量和耐用性。
◇ SMILENAVI
SMILENAVI 是為初學(xué)者在短時(shí)間內學(xué)會(huì )基礎操作而開(kāi)發(fā)的操作導航系統。 操作人員按照流程,只要點(diǎn)擊圖標,SEM操作畫(huà)面就會(huì )聯(lián)動(dòng),依照提示引導即可操作。
① 強調操作按鈕
只要將鼠標光標挪到SMILENAVI的指南鍵上,SEM的GUI上的相應鍵會(huì )出現方框。
在SMILENAVI指南里點(diǎn)擊按鍵后,SEM的GUI會(huì )變成灰色來(lái)強調相應鍵。
② 顯示照片
在SMILENAVI的指南里點(diǎn)擊按鍵后,會(huì )顯示該按鍵位置的照片。
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③ 顯示操作順序的視頻
SMILENAVI的指南里有介紹操作順序的視頻。
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繼承了舊機型的高性能
◇ 浸沒(méi)式肖特基 Plus 電子槍
浸沒(méi)式肖特基Plus FEG 通過(guò)與電子槍和低像差聚光鏡的組合,性能進(jìn)***步得到改善,達到了更高的亮度。 能有效地收集從電子槍發(fā)射出的電子,即使在低加速電壓下,也能獲得數pA ~數10 nA 的探針電流,不用交換物鏡光闌也能進(jìn)行高分辨觀(guān)察和快速元素面分布及EBSD 分析。
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◇ ACL(*佳光闌角控制鏡)
ACL(*佳光闌角控制鏡)位于物鏡的上方,自動(dòng)優(yōu)化整個(gè)電流范圍內的物鏡光闌角。 因此,即使改變探針電流量,也能調整入射電子的擴散,始終可以獲取*小的電子束斑。不管是高分辨觀(guān)察還是X 射線(xiàn)分析,對探針電流的大幅度變化都能輕松對應。
◇ 超***混合式物鏡 / SHL
JSM-7900F 標配了JEOL 開(kāi)發(fā)的電磁場(chǎng)疊加物鏡 —“超***混合式物鏡(SHL)”,對任何樣品包括磁性和絕緣材料都能進(jìn)行超高空間分辨率觀(guān)察和分析。
◇ 檢測器系統
能夠同步采集多達4 種檢測器的信號。
標配低位檢測器(LED)和高位檢測器(UED)。 此外,還可以安裝選配件:可插拔式背散射電子檢測器(RBED)和高位二次電子檢測器(USD)。
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◇ 高空間分辨率觀(guān)察
利用GBSH,即使在極低的加速電壓下也能進(jìn)行高分辨率觀(guān)察。
GBSH下,高空間分辨率觀(guān)察應用
● 氧化物納米材料