
PSM-1000工業(yè)顯微鏡:采用全新的***體化設計,具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量,造型新穎,使用方便,并具有豐富的擴展功能,可以廣泛應用于冶金、半導體、電子等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。
1.人機工程頭部
PSM-1000E雙目觀(guān)察頭可以在3°~30°轉動(dòng),調整觀(guān)察眼點(diǎn)的高度和觀(guān)察方向,使操作者觀(guān)察更加舒適。

2.管鏡
PSM-1000的管鏡轉盤(pán)上裝有1x NUV、1x NIR和2x管鏡,三組管鏡之間可以根據需要進(jìn)行切換,切換簡(jiǎn)單、方便。其中1x NUV對355nm和532nm波長(cháng)進(jìn)行了優(yōu)化,1x NIR對532nm和1064nm波長(cháng)進(jìn)行了優(yōu)化,當使用這三個(gè)波長(cháng)的激光器時(shí),可以得到更好的激光透過(guò)率。

3.光路切換拉桿
通過(guò)推拉光路轉換拉桿可以方便的對光路進(jìn)行切換,當轉換拉桿往外拉時(shí),雙目頭和攝像接口的分光比為0:100,此時(shí)從攝像接口上入射的激光***的進(jìn)入光路,提高了激光效率,當轉換拉桿往里推時(shí),雙目頭和攝像接口的分光比為50:50,此時(shí)即可用雙目頭觀(guān)察,同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。

4.偏光觀(guān)察
主體上留有偏光插孔,插上偏光附件(選配件),可進(jìn)行偏光觀(guān)察。

5.調焦機構
PSM-1000的調焦機構轉動(dòng)舒適,工作可靠,調焦機構可承載45磅(20.4kg),確保安裝激光器的CCD攝像頭后,任然可以正常工作。

6.轉換器
PSM-1000采用四孔可調中轉換器,使用隨即配送的調中鑰匙,可以很方便的調整物鏡的齊中。

7.物鏡
PSM-1000采用長(cháng)工作距離的無(wú)應力平場(chǎng)復消色差物鏡,提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量,關(guān)于物鏡的具體參數請參照APO物鏡樣本。

8.數碼攝像系統
根據所使用的CCD攝像機的CCD尺寸,選擇合適的攝像接頭,安裝在攝像接口上,組成攝像數碼系統,就可以在電腦、電視或監視器上同步觀(guān)察。

9.照明系統
采用同軸垂直照明系統,光源采用外置冷光源,長(cháng)達2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來(lái)更自由的操作空間。

10.探測工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上,進(jìn)行硅片的測試。

11.激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷(xiāo),雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置,并提供補償墊片,無(wú)需專(zhuān)用的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。
PSM-1000主要技術(shù)參數:
目鏡 | WF10X / 24,視場(chǎng)直徑Ø24mm,獨立矯正色差 |
雙目頭 | 瞳距調節范圍:55mm~75mm |
商主體 | 分光比為:50:50或0:100 |
管鏡 | 1X NUV / VIS;1X NIR / VIS;2X VIS |
轉換器 | 四孔,中心可調 |
物鏡 | 長(cháng)工作距離或超長(cháng)工作距離,無(wú)限遠平場(chǎng)復消色差,齊焦距離:95mm, 連接螺紋:M 26X 1/36”(0.706),齊焦機構(可選) |
調焦機構 | 調焦行程:52mm,粗動(dòng)手輪:4mm/轉,微動(dòng)手輪:0.1mm/轉,微動(dòng)手輪:1um/格,承載重量:45磅(20.4kg) |
照明系統 | 同軸垂直照明,可變孔徑光欄(Ø0.8~Ø6) |
冷光源 | 輸入電壓:110V或220V,150W / 21V,鹵素燈遙控器(可選) |
移動(dòng)載物臺 | X、Y行程:75mm X 50mm |
人機工程頭部 | 轉動(dòng)范圍:3°~30° |


